一种扩散装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种扩散装置，该扩散装置包括两个以上面板，所述面板上设置有多个用于扩散气体的扩散孔。采用本实用新型专利技术的技术方案，在进行维修和清理时，能够保证扩散装置上的扩散孔的孔径变化趋于一致。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种扩散装置
本技术涉及镀膜工艺中的气体扩散技术，尤其涉及一种扩散装置。
技术介绍
在显示器件制造过程中常常要使用气相沉积镀膜工艺来实现电子器件如薄膜晶体管(TFT,Thin Film Transistor)在显示基板上的制备,而薄膜晶体管的膜层结构常常需要采用气相沉积镀膜工艺来形成，其中气体扩散器在气相沉积镀膜工艺中的重要设备，它起到扩散气体使气体均匀作用于基板的作用。如图1所示，目前TFT生产线所用的扩散器都是在一整块较大铝板上面加工出来的。一个全新的扩散器上机使用时间基本为I年左右，之后就要进行一次维修。在维修过程中，扩散器的扩散孔经过阳极膜剥离和再氧化的过程后，直径会相对增大。由于整个扩散器的面积较大，很难控制整个扩散器的扩散孔的孔径变化量是一致的。一般情况下，扩散孔的孔径变化趋势为中间较小、四周偏大。这样就会严重影响镀膜过程中反应气体通过扩散器后气流的均匀性，最终导致沉积的薄膜厚度和特性不一致，影响TFT开关的性能。因此这种扩散器的维修效果较差，且维修成本较高。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的实施方式提供一种扩散装置，维修简便且维修成本低。为达到上述目的，本技术实施方式的技术方案是这样实现的:一种扩散装置，该扩散装置包括两个以上面板，所述面板上设置有多个用于扩散气体的扩散孔。其中，所述多个用于扩散气体的扩散孔均匀地分布在所述面板上。其中，所述两个以上面板的扩散孔的孔径大小相同。其中，所述两个以上面板中，至少有两个面板通过将面板边缘的卡槽与卡扣相卡合的方式相连。其中，所述扩散装置还包括水平固定支架，所述水平固定支架上设有交叉排列的卡槽或卡扣；所述两个以上面板，通过所述水平固定支架的卡槽或卡扣以及所述两个以上面板边缘的卡扣或卡槽固定，并布满于所述水平固定支架中。其中，所述面板的形状包括圆形和/或多边形。其中，所述面板的材质包括铝、铜、铁中的任一种或多种。其中，所述扩散孔的形状包括沙漏状、锥状、柱状中的任一种。其中，该扩散装置包括:四个长与宽分别为0.65米和0.55米的所述面板、或十六个长与宽分别为0.325米和0.275米的所述面板。本技术实施方式提供的扩散装置，包括两个以上面板，所述面板上设置有多个用于扩散气体的扩散孔，相对于现有技术，本技术实施方式的扩散装置将具有较大面积面板的扩散器拆分为多个较小面积的面板，对较小面积的面板进行维修和清理时，面板上的扩散孔的孔径变化趋于一致，如此，延长了扩散装置的使用寿命，从而降低了生产成本。本技术实施方式提供的扩散装置，维修简便且维修成本低。另外，面板的边框设置有卡槽，面板通过所述卡槽与其它面板相连或去相连，多个较小面积的面板可以组装成具有较大面积面板的扩散装置，相应的，具有较大面积面板的扩散装置也可以拆分为多个较小面积的面板，如此，可以根据需要灵活地对面板进行组装及拆分。除此以外，所述多个用于扩散气体的扩散孔均匀地分布在所述面板上，所述两个以上面板的扩散孔的孔径大小相同，如此，保证了扩散装置的扩散孔的孔径大小的一致性，稳定了反应气体通过扩散装置后的流量和速度。本技术实施方式提供的扩散装置，还包括水平固定支架，所述水平固定支架上设有交叉排列的卡槽或卡扣；通过所述水平固定支架上的卡槽或卡扣以及所述两个以上面板边缘的卡扣或卡槽，将所述两个以上面板固定并布满于所述水平固定支架中，如此，在使用时，能实现气体均匀扩散，还能保证每个面板分布在同一水平面上。【附图说明】图1为现有技术中扩散器的结构组成示意图；图2为现有技术中扩散器的立体结构示意图；图3为本技术实施方式的扩散装置的俯视结构组成示意图；图4为本技术实施方式的扩散装置的立体结构示意图；图5为本技术实施方式的水平固定支架的结构组成示意图；图6为本技术实施方式的扩散装置中的扩散孔的结构示意图。附图标记说明:11—扩散孔；12—面板；21—卡槽；22—卡扣；31—水平固定支架。【具体实施方式】为了能够更加详尽地了解本技术实施方式的特点与
技术实现思路
，下面结合附图对本技术实施方式的实现进行详细阐述，所附附图仅供参考说明之用，并非用来限定本技术的实施方式。图1为现有技术中扩散器的结构组成示意图，图2为图1所示的扩散器的立体结构图，如图1及图2所示，现有技术中的扩散器具有一个独立的面板12，该面板12为长方形，面板12上均匀分布多个用于扩散反应气体的扩散孔11，所有扩散孔11的孔径大小相同。在实际应用时，面板12的形状也可以为正方形等其它形状。可以通过扩散孔11的孔径大小来控制反应气体的扩散速率，具体地，扩散孔11可以做成较大的孔径，使得扩散器中的反应气体具有较大的扩散速率；相应的，扩散孔11也可以做成较小的孔径，使得扩散器中的反应气体具有较小的扩散速率。扩散器设置于制作TFT开关所需的衬底基板的上方，在制作TFT开关时，反应气体在扩散器中进行扩散，反应气体由扩散器的上方通过扩散器的扩散孔11扩散注入到所述衬底基板上，进而在衬底基板上形成所需的薄膜。现有技术中的扩散器使用一段时间后，一般为I年，需要对扩散器进行维修，在维修的过程中，扩散孔11需要经过阳极膜剥离和再氧化的过程，因此扩散孔11的孔径会增大。由于整个扩散器的面积较大，因此很难控制整个扩散器的扩散孔11的孔径变化的一致性。为此，本技术实施方式提供了一种扩散装置，如图3及图4所示，该扩散装置包括两个以上面板12，所述面板12上设置有多个用于扩散气体的扩散孔11。优选地，所述多个用于扩散气体的扩散孔11均匀地分布在所述面板12上；优选地，两个以上面板12的扩散孔11的孔径大小相同，如此，可以保证所有面板12的扩散速率相同。优选地，所述两个以上面板12中，至少有两个面板12通过面板边缘的卡槽21与卡扣22相卡合的方式相连；具体地，面板12的边缘设有卡槽21或卡扣22，设有卡槽21的面板和设有卡扣22的面板通过所述卡槽21与卡扣22相卡合；如此,面板12通过卡槽与卡扣相卡和的方式与其它面板相连，进而组成面积较大的面板；当面板12通过卡槽与卡扣相卡和的方式与其它面板连接时，可以通过所述卡槽21与卡扣22的拆分与其它面板去相连，进而拆分成两个以上的面积较小的面板12。这里，卡槽21的结构可以是凹槽，相应的，卡扣22的结构可以是凸起结构以与卡槽21相卡合固定。优选地，如图5所示，所述扩散装置还包括水平固定支架31，所述水平固定支架31上设有交叉排列的卡槽21或卡扣22 ;所述两个以上面板12，通过所述水平固定支架31上的卡槽21或卡扣22以及所述两个以上面板边缘的卡扣22或卡槽21固定，并布满于所述水平固定支架31中。在具体实现时，水平固定支架31内部交叉排列的卡槽21或卡扣22可以按照面板12的形状进行调整，例如，如果面板12的边缘均为卡槽21，则水平固定支架31上交叉排列的均为卡扣22。优选地，所述扩散孔11的形状包括沙漏状、锥状、柱状中的任一种。例如，图6为扩散孔11的俯视图，如图6所示，扩散孔11的形状为沙漏状。在实际应用时，两个以上面板12组成的较大面积的面板的大小与衬底基板的大小一致。在实际生产过程中，一般地，所述衬底基板的长与宽分别为1.3米和1.1米，因此，两个以上面板12组成的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扩散装置，其特征在于，该扩散装置包括两个以上面板，所述面板上设置有多个用于扩散气体的扩散孔。

【技术特征摘要】
1.一种扩散装置，其特征在于，该扩散装置包括两个以上面板，所述面板上设置有多个用于扩散气体的扩散孔。2.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，所述多个用于扩散气体的扩散孔均匀地分布在所述面板上。3.根据权利要求2所述的扩散装置，其特征在于，所述两个以上面板的扩散孔的孔径大小相同。4.根据权利要求3所述的扩散装置，其特征在于，所述两个以上面板中，至少有两个面板通过将面板边缘的卡槽与卡扣相卡合的方式相连。5.根据权利要求3所述的扩散装置，其特征在于，所述扩散装置还包括水平固定支架，所述水平固定支架上设有交叉排列的卡槽或卡扣；所述两个以上面板，通过所述水平固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘东，韩乔楠，刘强，艾青南，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：