【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机平板式发射板结构
本技术涉及真空镀膜机平板式发射板结构,属于真空镀膜机
。
技术介绍
传统真空镀膜机都采用棒式结构,其发射面积小,保护膜效果差,产品附着力及耐碱性差,产品不合格率高,发射棒没有保护罩,极易受污染。
技术实现思路
针对上述问题,本技术要解决的技术问题是提供真空镀膜机平板式发射板结构。本技术的真空镀膜机平板式发射板结构,它包含真空室腔体、发射板、保护罩和电极,所述发射板和保护罩上设有相对应的固定孔,所述发射板上通过绝缘陶瓷钉和插针固定在保护罩上,所述绝缘陶瓷钉末端设有插孔,绝缘陶瓷钉穿过发射板固定孔及保护罩固定孔后,在其末端插孔上插入插针固定,所述真空室腔体上设有调节板,所述保护罩固定在调节板上,所述电极的螺杆端穿过发射板,并用调节螺母固定。本技术的有益效果:本技术采用板式发射,板式的发射因面积增加而产生的保护膜效果更佳,即大大增强附着力及耐碱性;在同样功率下能发射出更大电压,在同样的条件下能得到更厚的膜;在等离子轰击工艺下可获得更好的附着力;防止污染,可按照不同尺寸的产品调节发射板与产品直接的距离,使其能得到更好的轰击工艺效果。【附图说明】为了易于说明,本技术由下述的具体实施及附图作以详细描述。图1为本技术的整体结构示意图。图2为本技术的发射板和保护罩的组合结构示意图。【具体实施方式】如图1、图2所示,本【具体实施方式】采用以下技术方案:真空镀膜机平板式发射板结构,它包含真空室腔体1、发射板2、保护罩3和电极4,所述发射板2和保护罩3上设有相对应的固定孔,所述发射板2上通过绝缘陶瓷钉5和插针6固定在保护罩3上,所述 ...
【技术保护点】
真空镀膜机平板式发射板结构,它包含真空室腔体、发射板、保护罩和电极,所述发射板和保护罩上设有相对应的固定孔,所述发射板上通过绝缘陶瓷钉和插针固定在保护罩上,所述绝缘陶瓷钉末端设有插孔,绝缘陶瓷钉穿过发射板固定孔及保护罩固定孔后,在其末端插孔上插入插针固定,所述真空室腔体上设有调节板,所述保护罩固定在调节板上,所述电极的螺杆端穿过发射板,并用调节螺母固定。
【技术特征摘要】
1.真空镀膜机平板式发射板结构,它包含真空室腔体、发射板、保护罩和电极,所述发射板和保护罩上设有相对应的固定孔,所述发射板上通过绝缘陶瓷钉和插针固定在保护罩上,所述绝缘陶瓷钉末端设...
【专利技术属性】
技术研发人员:夏伟,孙海澄,李龙哲,刘强,金虎,
申请(专利权)人:上海哈呐机电设备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。