膜状涂布喷嘴、涂布装置及涂布方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够使来自连通于吐出口的所有流路的流入量均匀，使涂布间隙的影响为最小限度，并相比于现有技术精度更优良地进行膜状涂布的技术。解决手段是膜状涂布喷嘴，具备：具有分支路构造的分支块（3、4、5）；具有在长边方向上形成为宽幅的吐出口的前端构件（12）；以及设置多根具有连通于分支路构造的细管流入口（16）及连通于前端构件（12）的吐出口的细管流出口（17）的细管（14）而成的管部（13）；分支块（3、4、5）具备多段由使连通于流入口（16）的流路分支的室所构成的分支部（8），到由设置在同一段的分支部（8）所分支的流路的流出口（17）为止的长度构成为相等；前端构件（12）具有构成吐出口的沟槽部（15），吐出口的端面的短边方向的长度（S）构成为长于细管流出口（17）的内径（D），细管流出口（17）大致等间隔地配设在沟槽部（15）的最里面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】膜状涂布喷嘴、涂布装置及涂布方法
本专利技术涉及用于在被涂布物的表面上遍及宽范围地将液体材料以均匀的厚度涂布成膜状的喷嘴（nozzle）、涂布装置及涂布方法。
技术介绍
在电气·电子产品制造中的抗蚀（resist）液等的涂布或显示器装置制造中的荧光体膏体等的涂布等的、在被涂布物的表面上遍及宽范围地将液体材料以均匀的厚度涂布成膜状的装置中，为了效率良好地进行涂布，一般使用形成有一个细长的间隙的狭缝喷嘴或多根细管以狭窄的间隔排列成一直线的梳状喷嘴。这些喷嘴以较少次数的移动来结束涂布，另一方面，由于从喷嘴的流入口至流出口的距离的差异或在流出口的流动阻抗等，在喷嘴内压力不均匀，产生了涂布量的不均。为了消除该涂布量的不均并实现均匀的厚度的涂布，至今提出了各种的技术。例如，专利文献1涉及为了将涂布液涂布在叶片状及连续地移动的带状的被涂布物的表面上所使用的挤压（extrusion）型喷嘴，并公开了具备使涂布液在宽度方向上遍布的2段的歧管（manifold）以及将涂布液整流的2段的狭缝，在2段的狭缝中，由可交换的构件形成涂布液流入侧的狭缝，将该构件与对应于涂布液的粘度等的最佳的构件逐个交换而可以进行均匀的涂布。另外，专利文献2涉及将保护膜形成于汽车的车体外观的涂装面的装置，并公开了在从排列设置有多个细孔的喷嘴装置以比较低的压力从近距离将水溶性涂料喷出于被涂装面上并利用在被涂布面上涂料所具有的平坦化性质而形成平滑的保护膜时，在细孔中的前端开口部设置连通部并将从喷嘴装置所喷出的涂料形成为薄膜状，从而涂覆平滑的保护膜。然而，如专利文献2所述，在将多个喷嘴配设成一列的情况下，除了从一个流入口至各个吐出口为止的分支流路的长度不同之外，起因于分支流路越长则承受越大的流动阻抗而使压力损失变大等，来自喷嘴的液状物质的吐出量在分支流路的长度较短的中央部分较多，朝向端部逐渐减少，从而产生了吐出量的不均的问题。因此，申请人提出了下述技术：其是在从一个流入口至多个吐出口之间，设置使流路分支的多段的分支路的流体的吐出路构造，将形成上段的分支部的划分室的横宽构成为宽于下段侧的分支部入口间距离，使上下的划分室由配置于下段侧的分支路中心的管路进行连通，并且通过将该管路形成为短于上下分支路从而使各分支路的总长度大致相等，使通过任一分支路的流体的压力损失大致相等，从而以高精度使从各个吐出口吐出的流体的吐出量均匀化。专利文献专利文献1：日本特开2002-370057号公报专利文献2：日本特开平8-224503号公报专利文献3：日本专利第4037861号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题近年来，显示器领域等中的机材的高功能化或薄层化的要求增加，涂布膜的膜厚的均匀化的期望变高。然而，在专利文献1那样的狭缝喷嘴中，如果作为喷嘴前端与被涂布物之间的距离的涂布间隙（gap）由于被涂布物的平面度或移动机构的平行度等的影响而发生变动，则受其影响而使涂布量变动，涂布膜厚度变得不均匀而无法获得所期望的涂膜形状。另外，狭缝喷嘴因为仅形成有一个细长的间隙，因而用于挤出液体材料的压力未均等地施加而从较弱的部分发生变形，或者在严重时会引起破坏。在试图涂布粘度高的液体材料的情况下，会施加比较高的压力，从而变得特别显著。如果发生上述那样的变形，则涂布量当然也会变化，无法得到均匀的厚度的涂膜。为了解决狭缝喷嘴的问题，也考虑利用专利文献2那样的梳状喷嘴。然而，专利文献2中，涂料被喷出为具有凹凸的薄膜状，涂膜的平滑化依赖于涂布后的涂料的流动性，因此作为获得均匀的厚度的涂膜的手段是不充分的。另外，在专利文献2中，完全没有提到由于设置细孔所产生的压力损失的问题。再有，专利文献3用于将荧光体膏体涂布于基板表面的凹部内等来形成多个平行线，不具有用于进行膜状涂布的喷嘴。因此，本专利技术的目的在于，提供能够使来自于连通于吐出口的所有流路的流入量均匀，使涂布间隙的影响为最小限度，并且相比于现有技术精度更良好地进行膜状涂布的技术。解决问题的技术手段第一专利技术是一种膜状涂布喷嘴，其特征在于，具备：具有分支路构造的分支块；具有在长边方向上形成为宽幅的吐出口的前端构件；以及设置多根具有连通于所述分支路构造的细管流入口及连通于所述前端构件的吐出口的细管流出口的细管而成的管部，所述分支块具备多段由使连通于流入口的流路分支的室所构成的分支部，到由设置在同一段的分支部所分支的流路的流出口为止的长度构成为相等，所述前端构件具有构成吐出口的沟槽部，所述吐出口的端面的短边方向的长度S构成为长于所述细管流出口的内径D，所述细管流出口大致等间隔地配设在所述沟槽部的最里面。第二专利技术的特征在于，在第一专利技术中，所述吐出口的端面的长边方向的长度W构成为长于配设于所述沟槽部的最里面的两端的细管流出口间的距离。第三专利技术的特征在于，在第一或第二专利技术中，所述沟槽部的短边方向的长度从最里面至出口的端面阶段性地扩张。第四专利技术的特征在于，在第三专利技术中，所述沟槽部的短边方向的截面形状为梯形状，所述细管流出口位于截面形状的铅垂中心线上。第五专利技术的特征在于，在第三专利技术中，所述沟槽部的短边方向的截面形状为半圆状或半椭圆状，所述细管流出口位于截面形状的铅垂中心线上。第六专利技术的特征在于，在第一～第五专利技术的任一个专利技术中，所述吐出口的端面的短边方向的长度S为所述细管的流出口的内径D的1.2～2.5倍。第七专利技术的特征在于，在第一～第六专利技术的任一个专利技术中，所述分支块和/或所述前端构件由可自由组装和分解的多个模块所构成，能够使各模块的组合改变。第八专利技术是一种涂布装置，具备：第一～第六专利技术的任一个专利技术所涉及的膜状涂布喷嘴；储存液体材料的储罐；控制从所述储罐供给的液体材料向所述喷嘴供给或停止的吐出阀；载置被涂布物的工作台；以及使所述喷嘴与载置于所述工作台的被涂布物相对移动的移动机构。第九专利技术的特征在于，在第八专利技术中，设置调整机构，所述调整机构包含以下构件而成：将所述喷嘴固定的基座（base）构件；配设于所述基座构件的中央部分的旋转轴；可自由旋转地支撑所述旋转轴的安装构件；以及配设于所述安装构件的调整螺钉。第十专利技术是一种涂布装置，其特征在于，具备：第七专利技术所涉及的膜状涂布喷嘴；储存液体材料的储罐；控制从所述储罐供给的液体材料向所述喷嘴供给或停止的吐出阀；载置被涂布物的工作台；以及使所述喷嘴与载置于所述工作台的被涂布物相对移动的移动机构，设置调整机构，所述调整机构包含以下构件而成：在将所述分支块和/或所述前端构件连结的状态下进行固定的基座构件；配设于所述基座构件的中央部分的旋转轴；可自由旋转地支撑所述旋转轴的安装构件；以及配设于所述安装构件的调整螺钉。第十一专利技术的特征在于，在第八～第十专利技术的任一个专利技术中，设置多个所述储罐，并设置选择性地切换与进行使用的一个储罐的连通的切换阀。第十二专利技术的特征在于，在第八～第十一专利技术的任一个专利技术中，在所述吐出阀与所述切换阀之间设置泵。第十三专利技术的特征在于，在第十二专利技术中，所述泵为容积式泵。第十四专利技术是一种涂布方法，其使用第一～第七专利技术的任一个专利技术所涉及的膜状涂布喷嘴，一边由移动机构使被涂布物和/或喷嘴移动一边将液体材料进行膜状涂布。第十五专利技术的特征在于，在第十四专利技术中，将高粘性的液体材料进行膜状涂布。专利技术的效果根据本专利技术，除了可分配均匀量的分支本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种膜状涂布喷嘴，其特征在于，具备：具有分支路构造的分支块；具有在长边方向上形成为宽幅的吐出口的前端构件；以及设置多根具有连通于所述分支路构造的细管流入口及连通于所述前端构件的吐出口的细管流出口的细管而成的管部，所述分支块具备多段由使连通于流入口的流路分支的室所构成的分支部，到由设置在同一段的分支部所分支的流路的流出口为止的长度构成为相等，所述前端构件具有构成吐出口的沟槽部，所述吐出口的端面的短边方向的长度S构成为长于所述细管流出口的内径D，所述细管流出口大致等间隔地配设在所述沟槽部的最里面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2011.05.16 JP 2011-1090471.一种膜状涂布喷嘴，其特征在于，具备：具有分支路构造的分支块；具有在长边方向上形成为宽幅的吐出口的前端构件；以及设置多根具有连通于所述分支路构造的细管流入口及连通于所述前端构件的吐出口的细管流出口的细管而成的管部，所述分支块具备多段由使连通于流入口的流路分支的室所构成的分支部，到由设置在同一段的分支部所分支的流路的流出口为止的长度构成为相等，所述前端构件具有构成向下方开口的吐出口的沟槽部，所述吐出口的端面的短边方向的长度S构成为长于所述细管流出口的内径D，所述细管流出口大致等间隔地配设在所述沟槽部的最里面。2.如权利要求1所述的膜状涂布喷嘴，其特征在于，所述吐出口的端面的长边方向的长度W构成为长于配设于所述沟槽部的最里面的两端的细管流出口间的距离。3.如权利要求1或2所述的膜状涂布喷嘴，其特征在于，所述沟槽部的短边方向的长度从最里面至出口的端面阶段性地扩张。4.如权利要求3所述的膜状涂布喷嘴，其特征在于，所述沟槽部的短边方向的截面形状为梯形状，所述细管流出口位于截面形状的铅垂中心线上。5.如权利要求3所述的膜状涂布喷嘴，其特征在于，所述沟槽部的短边方向的截面形状为半圆状或半椭圆状，所述细管流出口位于截面形状的铅垂中心线上。6.如权利要求1或2所述的膜状涂布喷嘴，其特征在于，所述吐出口的端面的短边方向的长度S为所述细管的流出口的内径D的1.2～2.5倍。7.如权利要求1所述的膜状涂布喷嘴，其特征在于，所述分支块和/或所述前端构件由可自由组装和分解的多个模块所构成，能够使各模块的组合改变。8.一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：生岛和正，
申请(专利权)人：武藏工业株式会社，
类型：
国别省市：