【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种自动精密涂布设备。
技术介绍
由于钙钛矿薄膜制备对薄膜精度及均匀性提出了极高的要求，目前市场上的涂布设备较难满足纳米级精度要求，其中专利CN103496350A只是提供一种简易涂布设备，未能从提高精密角度给予涂布机更好的解释。专利CN102632019B只是通过检测装置来控制薄膜厚度，但未能保证薄膜的均匀性以及涂布定位的精度。
技术实现思路
为了解决上述的技术问题，本技术的目的是提供一种结构合理，精度高，涂布层厚度及均匀度得到很好控制的自动精密涂布设备。为了实现上述目的，本技术采用了以下的技术方案：一种自动精密涂布设备，包括固定工作台、涂布头、支撑架和伺服驱动装置，所述固定工作台上表面还设有样品台，所述支撑架固定在固定工作台的两侧，所述支撑架的上端设有导轨，多轴可移动式的涂布头安装在导轨上，所述导轨上还设有用来检测涂布头位移量的纳米光栅检测仪，所述伺服驱动装置通过丝杆与涂布头连接。作为优选方案：所述涂布头包括流量阀、密封装置和流量传感器，所述流量阀安装在溶液存储装置上，所述密封装置安装在涂布头与溶液存储装置之间，所述流量传感器安装在涂布头的出液端。本技术通过丝杆与螺母无间隙连接，并通过减震器进行减震从而提高涂布均匀性。所述涂布头可在垂直和水平方向进行移动，并且包含涂布液流量检测装置进行涂布液挤出流量控制。所述密封装置可隔绝空气与涂布液接触，避免旋涡对涂布液影响。所述光栅检测仪用于...
【技术保护点】
一种自动精密涂布设备，其特征在于：包括固定工作台（1）、涂布头（3）、支撑架（7）和伺服驱动装置，所述固定工作台（1）上表面还设有样品台（2），所述支撑架固定在固定工作台（1）的两侧，所述支撑架（7）的上端设有导轨（6），多轴可移动式的涂布头（3）安装在导轨（6）上，所述导轨（6）上还设有用来检测涂布头（3）位移量的纳米光栅检测仪（8），所述伺服驱动装置通过丝杆（5）与涂布头（3）连接。
【技术特征摘要】
1.一种自动精密涂布设备，其特征在于：包括固定工作台（1）、涂布头（3）、支撑架（7）和
伺服驱动装置，所述固定工作台（1）上表面还设有样品台（2），所述支撑架固定在固定工作
台（1）的两侧，所述支撑架（7）的上端设有导轨（6），多轴可移动式的涂布头（3）安装在导轨
（6）上，所述导轨（6）上还设有用来检测涂布头（3）位移量的纳米...
【专利技术属性】
技术研发人员：童和强，
申请(专利权)人：杭州众能光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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