【技术实现步骤摘要】
全背电极太阳能电池的制作方法及全背电极太阳能电池
本专利技术涉及一种全背电极太阳能电池的制作方法及全背电极太阳能电池，属于太阳能电池
。
技术介绍
目前，全背电极太阳能电池由于其优异的光电转换效率而备受青睐，是高效太阳电池的主流技术之一。顾名思义，全背电极太阳能电池即指金属电极全部在电池背面，而正面无电极的电池，增大了受光面积，提高了电池效率。此种电池一般由N型衬底材料制备，通过在背面进行硼扩散和磷扩散来形成P区和N区，经钝化后再印刷相应的金属接触形成背面电极，为了进一步提高转换效率，背面电极可采用点接触的方式，减小金属与硅的复合，但是，现有技术的点接触技术大致分为两种方法:其一，分别印刷用于点接触的金属浆料，经烧结形成接触点后，再覆盖一层起连接作用的金属浆料(一般为非烧穿的低温浆料)，最后经烘干而形成电池的金属化。此种方法可能引起两种金属浆料的界面接触不好，而直接影响填充因子和效率；其二，利用刻蚀浆料对接触区的钝化膜进行刻蚀，完全去除该区域的钝化膜，再在点接触区域和连接区域都印刷非烧穿的金属浆料，使点接触的区域与硅形成直接接触，而钝化膜存在的区...
【技术保护点】
一种全背电极太阳能电池的制作方法，其特征在于该方法的步骤如下：1）对衬底硅片（1）进行抛光去损伤处理；2）对衬底硅片（1）的背面进行扩散处理，使其背面形成pn结；3）在衬底硅片（1）的背面形成掩膜；4）对衬底硅片（1）的正面进行制绒处理，使其正面形成绒面层，然后除去背面的掩膜；5）在具有pn结和绒面层的衬底硅片（1）的正面和背面分别形成氧化掩膜；6）在衬底硅片的背面需要形成?N型区的部分去除其表面的pn结和氧化掩膜，并对该部分进行扩散处理，使该部分形成N型区（1?1），背面其余部分则形成P型区（1?2），接着去除其两面的氧化掩膜；7）在衬底硅片（1）的正面形成第一钝化膜层，...
【技术特征摘要】
1.一种全背电极太阳能电池的制作方法，其特征在于该方法的步骤如下: 1)对衬底硅片(1)进行抛光去损伤处理； 2)对衬底硅片(1)的背面进行扩散处理，使其背面形成Pn结； 3)在衬底硅片(1)的背面形成掩膜； 4)对衬底硅片(1)的正面进行制绒处理，使其正面形成绒面层，然后除去背面的掩膜； 5)在具有pn结和绒面层的衬底硅片(I)的正面和背面分别形成氧化掩膜； 6)在衬底硅片的背面需要形成N型区的部分去除其表面的pn结和氧化掩膜，并对该部分进行扩散处理，使该部分形成N型区(1-1 )，背面其余部分则形成P型区(1-2)，接着去除其两面的氧化掩膜； 7)在衬底硅片(1)的正面形成第一钝化膜层，在衬底硅片(I)的背面形成第二钝化膜层； 8)在第二钝化膜层上形成多个点接触孔(3-1)，并且点接触孔(3-1)的底面处还留有第二钝化膜层； 9)在衬底硅片(I)背面位于点接触孔(3-1)的部位印刷金属浆料(3-1-1),经过烧结处理后，形成与N型区(1-1)相对应的第一金属电极(4)和与P型区(1-2)相对应的第二金属电极(5)，第一金属电极(4)具有第一点接触部分(4-1)和第一金属部分(4-2)，并保证第一点接触部分(4-1)烧穿第二钝化膜层后与N型区(1-1)形成欧姆接触，第一金属部分(4-2)与N型区(1-1)间留有第二钝化膜层；第二金属电极(5)具有第二金属部分(5-2)和连接在第二金属部分(5-2)上的多个第二点接触部分(5-1 )，第二点接触部分(5-1)烧穿第二钝化膜层后与P型区(1-2)形成欧姆接触，第二金属部分(5-2)与P型区(1-2)间留有第二钝化膜层。2.根据权利要求1所述的全背电极太阳能电池的制作方法，其特征在于:所述的第一钝化膜层和第二钝化膜层为叠层钝化膜层，由里向外均依次包括三氧化二铝钝化膜层(2)和SiNx钝化膜层(3)。3.根据权利要求1所述的全背电极太阳能电池的制作方法，其特征在于:在步骤8)中，在第二钝化膜层上印刷点状分布的刻蚀浆料，并通过控制刻蚀时间来得到所要深度的多个点接触孔(3-1)。4.根据权利要求1所述的全背电极太阳能电池的制作方法，其特征在于:在步骤8)中，在第二钝化膜层上预留出形成多个点接触孔(3-1)的部位，并在其余部位上印刷掩膜，然后通过酸溶液刻蚀的...
【专利技术属性】
技术研发人员：李中兰，杨阳，张学玲，威灵顿·皮埃尔·J，
申请(专利权)人：常州天合光能有限公司，
类型：发明
国别省市：
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