【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，包括硒化CIGS太阳能电池衬底的炉膛和穿过该炉膛两端传送衬底的输送带，炉膛整个外壁包覆有温控加热装置，其特征在于：所述炉膛通过四对上、下挡板依次分隔为喷涂区、反应区和进气区，上、下挡板之间留有供输送带移动的间隙，所述喷涂区内安装有向移动的所述衬底喷射硒蒸气的喷射装置；在炉膛反应区一端设有惰性气体进气孔，炉膛另一端设有排气孔，所述喷涂区与反应区之间、反应区和进气区之间均设有气体通孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：伍祥武，陈进中，莫经耀，吴伯增，林东东，甘振英，
申请(专利权)人：柳州百韧特先进材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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