一种柔性有机电致发光二极管及其制造方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性有机电致发光二极管及其制造方法，该柔性有机电致发光二极管包括依次层叠的柔性衬底、阳极层、第二缓冲层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极层，其中，该阳极层由金属材料构成，柔性衬底与阳极层之间还设有增强柔性衬底与阳极层之间结合力的第一缓冲层，该第一缓冲层由一氧化硅、二氧化锆或二氧化钛构成。本发明专利技术中，采用金属材料制作阳极层可降低阳极层的表面电阻；在阳极层与柔性衬底之间设置的第一缓冲层可增强柔性衬底与阳极层的结合力度，避免发生阳极层从柔性衬底脱落的情况，增强最终制得的发光二极管的发光稳定性；本发明专利技术所提供的柔性有机电致发光二极管制造工艺简单且易于实现。

Flexible organic electroluminescent diode and manufacturing method thereof

The invention discloses a flexible organic light-emitting diode and its manufacturing method, the flexible organic light-emitting diode includes sequentially stacked flexible substrate, anode layer, buffer layer second, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, an electron injection layer and a cathode layer, wherein the anode layer is composed of metal materials the first buffer layer, enhance the binding force between the substrate and the anode layer is arranged between the flexible substrate and the anode layer, the first buffer layer composed of a silicon oxide, zirconium oxide or titanium dioxide two. In the invention, made of metal anode layer can reduce the surface resistance of the anode layer; a first buffer layer is arranged between the anode layer and the flexible substrate can enhance the binding strength of flexible substrate and anode layer, avoid anode layer detached from the flexible substrate, enhance the luminescent stability eventually led to the system; the invention provides a flexible organic light-emitting diode manufacturing process is simple and easy to realize.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于有机电致发光器件
，并涉及一种有机电致发光二极管及其制造方法。更具体地，本专利技术涉及。
技术介绍
有机电致发光二极管(简称0LED)具有亮度高、材料选择范围宽、驱动电压低、全固化主动发光等特性，同时拥有高清晰、广视角以及响应速度快等优势，符合信息时代移动通信和信息显示的发展趋势，同时符合绿色照明技术的要求，是目前国内外众多研究者的关注重点。在现有技术的OLED器件中，使用玻璃衬底制作的OLED器件缺少弯曲特性且易碎，限制了发光器件的推广应用。采用柔性材料作为衬底的OLED器件相比玻璃衬底的OLED更轻薄、更耐冲击，并且柔性OLED的制备可以采用卷对卷方式生产，从而大幅度降低制造成本。目前可使用的柔性衬底主要有超薄玻璃、聚合物薄膜、金属薄片等。就现有的OLED器件而言，通常采用聚合物薄膜作为衬底，此时在柔性衬底表面制作的阳极层是通过溅射工艺覆盖一层透明导电薄膜，如ITO、IZO等材料。然而这些导电薄膜在柔性OLED的应用上也存在诸多难以克服的问题。例如，在柔性衬底上制备ITO等导电薄膜时，通常采用低温溅射技术，所制备得到的导电薄膜不仅表面电阻高，而且与柔性衬底的结合力不强，使得柔性OLED在反复弯曲的过程中容易发生导电薄膜从柔性衬底脱落的情况，影响OLED器件的发光稳定性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题在于，针对现有技术中采用聚合物薄膜制备的阳极层表面电阻高、阳极层在反复弯曲过程中易与柔性衬底脱离的缺陷，提供一种表面电阻低、阳极层与柔性衬底间结合力度强且因此发光性能稳定的柔性有机电致发光二极管及其制造方法。本专利技术要解决的技术问题通过以下技术方案得以实现:提供一种柔性有机电致发光二极管，包括依次层叠的柔性衬底、阳极层、第二缓冲层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极层，其中，所述阳极层由金属材料构成，所述柔性衬底与阳极层之间还设有增强所述柔性衬底与阳极层之间结合力的第一缓冲层；其中，所述第一缓冲层由一氧化硅、二氧化锆或二氧化钛构成。在上述柔性有机电致发光二极管中，构成所述阳极层的金属材料是银、金、铝、镍和铜的至少一种。在上述柔性有机电致发光二极管中，构成所述第二缓冲层的材料是构成所述阳极层的金属材料的氧化物。在上述柔性有机电致发光二极管中，构成所述第二缓冲层的材料是银、金、铝、镍和铜的至少一种的氧化物。在上述柔性有机电致发光二极管中，构成所述第二缓冲层的材料是三氧化二铝、氧化亚银、氧化镍、氧化铜、三氧化二金的至少一种。在上述柔性有机电致发光二极管中，所述柔性衬底由以下材料的其中一种构成:聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚萘二甲酸乙二醇酯、透明聚酰亚胺和聚碳酸酯。在上述柔性有机电致发光二极管中，所述阴极层由以下金属材料的至少一种构成:银、招、紅和镜。在上述柔性有机电致发光二极管中，所述空穴传输层由N，N' - 二苯基-N，N' -二(1-萘基)-1，1' -联苯-4，4' -二胺构成；所述发光层为4，4’，4”_三(咔唑-9-基)-三苯胺与三(2-苯基吡啶)合铱构成的掺杂结构，其中所述4，4’，4”-三(咔唑-9-基)-三苯胺与所述三(2-苯基吡啶)合铱的掺杂质量比为100: 3 ;所述电子传输层由1，3，5_三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯构成，以及所述电子注入层由氟化锂构成。在上述柔性有机电致发光二极管中，所述第一缓冲层的厚度为100-500nm;所述第二缓冲层的厚度为l-5nm ;所述阳极层的厚度为18~70nm,所述阴极层的厚度为18~IOOnm0根据本专利技术的另一方面，提供一种柔性有机发光二极管的制造方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤: S1、在真空热蒸镀系统中，在清洗干净的柔性衬底上蒸镀制备第一缓冲层；S2、将蒸镀有所述第一缓冲层的柔性衬底转移至真空溅射系统中，调苄基靶间距，在通入氩气的工作条件下在所述第一缓冲层表面溅射制备阳极层，制得金属电极；其中，所述阳极层由金属材料构成；S3、在步骤S2的真空溅射系统中，在通入氩气和氧气的混合气体的工作条件下在所述金属电极的阳极层表面溅射制备第二缓冲层；S4、将步骤S3中制得的金属电极转移至真空热蒸镀系统中，采用热蒸镀方法在所述第二缓冲层表面依次蒸镀制备空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极层。在上述柔性有机发光二极管的制造方法中，所述方法还包括在步骤S4之后对有机发光二极管进行封装:在真空度为5X10—4的真空溅射系统中，在所述阴极层表面溅射制备厚度为200nm的Si3N4薄膜，完成所述有机发光二极管的封装。实施本专利技术可以获得以下有益效果:采用金属材料制作阳极层可降低低温溅射工艺下制备得到的阳极层的表面电阻；在阳极层与柔性衬底之间额外设置的第一缓冲层不仅可以避免制备阳极层的过程中造成对基底的破坏，而且可以增强柔性衬底与阳极层的结合力度，避免柔性有机电致发光二极管在挠曲过程中发生阳极层从柔性衬底脱落的情况，增强最终制得的柔性有机电致发光二极管的发光稳定性；本专利技术所提供的柔性有机电致发光二极管可采用传统的溅射工艺和热蒸镀工艺制备，工艺简单且易于实现；制备得到的发光二极管稳定性能好，使用寿命长，易于推广使用。【附图说明】以下将结合附图和具体实施例对本专利技术做进一步详细说明。附图中:图1a是根据本专利技术实施例1的柔性有机电致发光二极管的结构示意图；图1b是根据本专利技术实施例1的制造柔性有机电致发光二极管的流程图；图2是本专利技术实施例1的柔性有机电致发光二极管和对比例1-2的柔性有机电致发光二极管在多次弯曲的情况下发光亮度的对比图；以及图3是本专利技术实施例1和对比例I的柔性有机电致发光二极管的电流密度-电压曲线图。【具体实施方式】为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图和具体实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。本专利技术提供了一种柔性有机电致发光二极管(以下简称柔性0LED)，该柔性OLED的阳极层由金属材料构成，可降低采用低温溅射工艺的情况下阳极层的表面电阻；该柔性OLED的柔性衬底与阳极层之间设有第一缓冲层，可增强柔性衬底与阳极层的结合力度，避免多次弯曲操作下阳极层与柔性衬底脱落，从而提高柔性OLED的发光稳定性；另一方面，第一缓冲层可避免制备阳极层时造成对柔性衬底的破坏。本专利技术的第一缓冲层可采用一氧化硅、二氧化锆或二氧化钛等氧化物，且优选在柔性OLED中形成100-500nm的第一缓冲层。进一步地，在阳极层表面溅射制备由构成阳极层的金属材料的氧化物构成的第二缓冲层，其用于提高空穴的注入效率，降低柔性OLED的启动电压。另外，当制备不同厚度的阳极层和阴极层时，可对应获得顶发射、底发射或者双面出光的柔性0LED，适用于不同的应用环境。为了实现优良的发光效果，本专利技术所提供的实施例可采用以下材料:(I)柔性衬底可采用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚醚砜(PES)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、透明聚酰亚胺(PI)或聚碳酸酯(PC)；(2)第一缓冲层可采用一氧化硅(SiO)、二氧化锆(ZrO2)或二氧化钛(TiO2)；(3)阳极层可采用金属银、金、铝、镍、铜的至少一种；(4)第二缓冲层可采用构成阳极层的金属材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性有机电致发光二极管，包括依次层叠的柔性衬底、阳极层、第二缓冲层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极层，其特征在于，所述阳极层由金属材料构成，所述柔性衬底与阳极层之间还设有增强所述柔性衬底与阳极层之间结合力的第一缓冲层；其中，所述第一缓冲层由一氧化硅、二氧化锆或二氧化钛构成。

【技术特征摘要】
1.一种柔性有机电致发光二极管，包括依次层叠的柔性衬底、阳极层、第二缓冲层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极层，其特征在于，所述阳极层由金属材料构成，所述柔性衬底与阳极层之间还设有增强所述柔性衬底与阳极层之间结合力的第一缓冲层；其中，所述第一缓冲层由一氧化硅、二氧化锆或二氧化钛构成。2.根据权利要求1所述的柔性有机电致发光二极管，其特征在于，构成所述阳极层的金属材料是银、金、铝、镍和铜的至少一种。3.根据权利要求1所述的柔性有机电致发光二极管，其特征在于，构成所述第二缓冲层的材料是银、金、铝、镍和铜的至少一种的氧化物。4.根据权利要求1所述的柔性有机电致发光二极管，其特征在于，所述柔性衬底由以下材料的其中一种构成:聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚醚砜、聚萘二甲酸乙二醇酯、透明聚酰亚胺和聚碳酸酯。5.根据权利要求1所述的柔性有机电致发光二极管，其特征在于，所述阴极层由以下金属材料的至少一种构成:银、铝、钐和镱。6.根据权利要求1所述的柔性有机电致发光二极管，其特征在于，所述空穴传输层由N，N’-二苯基-N，N’-二(1-萘基)_1，I’-联苯_4，4’-二胺构成；所述发光层为4，4’，4’’ -三(咔唑-9-基)-三苯胺与三(2-苯基吡啶)合铱...

【专利技术属性】
技术研发人员：周明杰，王平，冯小明，陈吉星，
申请(专利权)人：海洋王照明科技股份有限公司，深圳市海洋王照明技术有限公司，
类型：发明
国别省市：