【技术实现步骤摘要】
一种激光硅片切割夹具
本技术涉及一种激光硅片切割夹具。
技术介绍
激光拼焊和激光切割技术是目前在工业制造和生产中被广泛应用的新技术，可以将不同表面处理、不同种类或不同厚度的金属板自由组合成为一个毛坯件，对于减轻重量、提高工件质量、提高安全性、减少加工工序、降低成本、提高生产效率和减少材料消耗等多方面都有十分重要的意义。由于激光光束直径很小，在拼焊或切割过程中对两块待处理金属板的装配间隙有非常严格的要求，由于热应力的存在，为保证焊接过程中拼焊间隙不发生变化，对夹具的夹紧力要求通常很高。而且在传统的硅片切割过程中，夹具是先把硅片用胶水粘在夹具上，切割完成后又把硅片放在硫酸里清洗胶水，其操作工艺非常麻烦，也造成了环境污染。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术提供了一种激光硅片切割夹具，通过吸附功能的硅片吸杆将硅片牢牢吸附在夹具支撑面上，同时设置吸气管在切割过程中吹气保证了切割边缘的完整性。本技术具体是通过以下技术方案来实现的:一种激光硅片切割夹具，包括底座、支撑杆、支撑面、硅片吸杆和吸气管，所述底座面和所述支撑面平行，且通过所述支撑杆连接，所述支撑面为圆环形；所述底...
【技术保护点】
一种激光硅片切割夹具，其特征在于，包括底座、支撑杆、支撑面、硅片吸杆和吸气管，所述底座面和所述支撑面平行，且通过所述支撑杆连接，所述支撑面为圆环形；所述底座上设置若干根平行于所述支撑杆的硅片吸杆，所述硅片吸杆顶端面设有吸盘；所述底座面上设有吸气管，所述底座侧面还设有吸气接口，所述吸气管和所述吸气接口通过底座内部连通。
【技术特征摘要】
1.一种激光硅片切割夹具，其特征在于，包括底座、支撑杆、支撑面、硅片吸杆和吸气管，所述底座面和所述支撑面平行，且通过所述支撑杆连接，所述支撑面为圆环形；所述底座上设置若干根平行于所述支撑杆的硅片吸杆，所述硅片吸杆顶端面设有吸盘；所述底座面上设有吸气管，所述底座侧面还设有吸气接口，所述吸气管和所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：廖卫宁，李必刚，陈燎原，
申请(专利权)人：武汉瑞丰光电技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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