一种激光划刻机中用的气浮系统技术方案

一种激光划刻机中用的气浮系统，结构中包括设置在机台上面、带有充气孔的气浮平台，及循环式充气系统，关键在于：所述的循环式充气系统的结构中包括：充气管路、与机台上设置的回气口连接的回气管路、及空气净化装置，回气管路的输出端与空气净化装置的输入端连接，空气净化装置的输出端与充气管路的进气口连接，借助管理电路控制空气净化装置形成空气循环净化系统。本实用新型专利技术的有益效果是：1.保证气浮压力恒定；2.保证温度恒定；3.保证湿度恒定；4.有净化机台内空气的作用。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及非晶硅薄膜太阳能电池生产工艺中的定位加工领域，具体地说是应用于激光划刻机的新型的气浮系统。
技术介绍
在非晶硅薄膜太阳能电池生产的激光划刻工艺中，为了加快工艺加工速度，一般都通过往复移动玻璃基板来完成划线，然而在移动过程中势必会与支撑台表面产生摩擦，严重会损坏玻璃基板。而目前减少摩擦的方法主要有使用软毛刷作为支撑台和使用气浮支撑台。使用软毛刷虽然在一定程度上可以减少摩擦，但效果却始终无法与气浮支撑台相比。而目前使用气浮支撑台的激光划刻机，多使用CDA，这样缺少监控系统的气浮系统往往会有很多的不稳定性，且温度和湿度均无法保证，而温度和湿度在激光划刻工艺中却有很高的要求，温度不稳定便容易造成玻璃基板的变形，湿度过高也会使玻璃基板产生水汽，影响划 线质量。因此，如果能够提供一种气浮系统结构，气体由该系统提供，且增加多重监控装置，便可以保证压力的恒定，也可以保证一定的温度和湿度，并且可以起到一定的空气净化的目的。系统的稳定性也可以得到保证。
技术实现思路
本技术为了解决传统的气浮平台的稳定性，且能够有效保证气体的压力、温度及湿度，设计了一种激光划刻机中用的气浮系统，气体由该系统提供，且增加多重监控装置便可以保证压力的恒定，也可以保证一定的温度和湿度，这样就可以起到一定的空气净化的目的、及保证系统的稳定性。本技术采用的技术方案是一种激光划刻机中用的气浮系统，结构中包括设置在机台上面、带有充气孔的气浮平台，及循环式充气系统，关键在于所述的循环式充气系统的结构中包括充气管路、与机台上设置的回气口连接的回气管路、及空气净化装置，回气管路的输出端与空气净化装置的输入端连接，空气净化装置的输出端与充气管路的进气口连接，借助管理电路控制空气净化装置形成空气循环净化系统。本技术的有益效果是1.保证气浮压力恒定；2.保证温度恒定3.保证湿度恒定；4.有净化机台内空气的作用。附图说明图I是本技术的结构示意框图。附图中，I是机台，2是回气管路，3是充气管路，4是初级过滤器，5是压力泵，6是初级热交换器，7是次级热交换器，8是冷却水收集器，9是次级过滤器，10是温湿度计，11是第一压差传感器，12是是变频器，13是抽水泵，14是第二压差传感器，15是冷却水管路，16是流量控制电磁阀，单箭头代表冷却水的流向，双箭头代表气体的流向。具体实施方式一种激光划刻机中用的气浮系统，结构中包括设置在机台I上面、带有充气孔的气浮平台，及循环式充气系统，重要的是所述的循环式充气系统的结构中包括充气管路3、与机台I上设置的回气口连接的回气管路2、及空气净化装置，回气管路2的输出端与空气净化装置的输入端连接，空气净化装置的输出端与充气管路3的进气口连接，借助管理电路控制空气净化装置形成空气循环净化系统。所述的空气净化装置的结构中包括借助气体管路首尾顺次连接的初级过滤器4、带有冷却水输入/输出管路的压力泵5及初级热交换器6、次级热交换器7、冷却水收集器8、次级过滤器9，初级过滤器4的输入端与回气管路2的输出端连接，次级过滤器9的输出端与充气管路3的进气口连接。所述的初级过滤器4中还设置有第一压差传感器11及蜂鸣器，第一压差传感器11的信号输出端与管理电路的信号输入端连接，蜂鸣器的受控端与管理电路的控制端连接。第一压差传感器11用于测量初级过滤器4进出口两端的压差，并将检测到的压差信号实时发送至管理电路，管理电路发现初级过滤器4压差过大或者过小，均会控制蜂鸣器产生相应报警，提示检查或者更换初级过滤器4。所述的压力泵5中还设置有变频器12，变频器12的控制端借助连接线与压力泵5的受控端连接。变频器12控制压力泵5的转速，以精确控制气体罐路中气体的压力。所述的次级热交换器7的冷却水管路15上还设置有流量控制电磁阀16，流量控制电磁阀16的受控端与管理电路连接。使用次级热交换器7对气体进行精确地降温，通过流量控制电磁阀16控制工艺冷却水的流量达到精确控制温度的目的。所述的冷却水收集器8的结构中包括冷却水收集腔室、设置在冷却水收集腔室内部的百叶窗、及与冷却水收集腔室相连的抽水泵13，百叶窗的受控端与管理电路连接。百叶窗的角度可调，冷却水收集腔室内的冷凝水再通过小型抽水泵13抽走。所述的次级过滤器9上还设置有第二压差传感器14，第二压差传感器14的信号输出端与管理电路连接。使用次级过滤器9对从冷却水收集器8出来的气体进一步地过滤，同样加一个第二压差传感器14测量其两端压差。所述的充气管路3上还设置有温湿度计10，温湿度计10的信号输出端与管理电路的信号输入端连接。使用温湿度计10测量气体的温度和湿度，根据温度测量值控制流量控制电磁阀16的开启的大小，根据湿度测量值控制百叶窗开启的角度。在具体实施时，空气由机台内部的回风口进入回气管路2，首先通过初级过滤器4进行过滤，主要用于过滤空气中残留的激光划刻后的粉尘，并在初级过滤器4上装有第一压差传感器11，当初级过滤器4压差过大或者过小，均会产生相应报警，提示检查或者更换初级过滤器4。初级过滤器4后连接有压力泵5，提供满足要求压力的气体，并通过变频器12控制其转速，以精确控制气体的压力。在压力泵5的出口端装有初级热交换器6，将从压力泵5出来的空气进行初级降温，压力泵5、变频器6以及初级热交换器6均装有工艺冷却水循环管路，压力泵5、变频器6通入工艺冷却水用于装置本身的降温，而初级热交换器6用于气体管道中的空气的降温。在初级热交换器6之后还装有次级热交换器7，用于空气温度的精确控制，外接工艺冷却水以及在进水口装有流量控制电磁阀16，通过流量控制电磁阀16控制工艺冷却水的流量达到精确控制温度的目的。之后达到要求温度的空气经过冷却水收集器8，用于控制空气的湿度，该装置由多层百叶窗式的结构组成，且百叶窗的角度可调，通过控制百叶窗的角度来调节空气的湿度，装置内收集后的冷却水再通过小型抽水泵13抽走。在冷却水收集器8之后还装有次级过滤器9，对空气进行进一步的过滤，同样接一个第二压差传感器14用以检查次级过滤器9两端的压差。之后设有温湿度计10，可以同时测量温度和湿度，根据温度测量值控制流量控制电磁阀16的开启的大小，根据湿度测量值控制百叶窗开启的角度，以达到精确测量的目的。达到要求压力的空气通过充气管路3进入到机台中，首先装有压力计，检查压力是否符合设定值，再将空气输送到气浮平台中，气浮平台表面分布着密集的孔，且分布均匀，保证表面各部位的压力相等。此外在在气浮平台上还装有传送装置，用于对玻璃基板的传入和传出。在激光划刻机内部设有两个回风口，通过回风口再次传入外部系统中，实现气体的循环。·权利要求1.一种激光划刻机中用的气浮系统，结构中包括设置在机台(I)上面、带有充气孔的气浮平台，及循环式充气系统，其特征在于所述的循环式充气系统的结构中包括充气管路(3)、与机台(I)上设置的回气口连接的回气管路(2)、及空气净化装置，回气管路(2)的输出端与空气净化装置的输入端连接，空气净化装置的输出端与充气管路(3)的进气口连接，借助管理电路控制空气净化装置形成空气循环净化系统。2.根据权利要求I所 述的一种激光划刻机中用的气浮系统，其特征在于所述的空气净化装置的结构中包括借助气体管路首尾顺次连接的初级过滤器(4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光划刻机中用的气浮系统，结构中包括设置在机台（1）上面、带有充气孔的气浮平台，及循环式充气系统，其特征在于：所述的循环式充气系统的结构中包括：充气管路（3）、与机台（1）上设置的回气口连接的回气管路（2）、及空气净化装置，回气管路（2）的输出端与空气净化装置的输入端连接，空气净化装置的输出端与充气管路（3）的进气口连接，借助管理电路控制空气净化装置形成空气循环净化系统。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：樊成源，安丽娜，杨然翔，邢丽芬，
申请(专利权)人：东旭集团有限公司，成都泰轶斯太阳能科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：