【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及，所述搬送夹具是基板的搬送夹具，其包括：夹具主体部，包含基板支撑面、多个吸附孔以及一个真空室，所述基板支撑面上载置以指定方式排列的多个独立基板、所述多个吸附孔用于分别吸附载置在所述基板支撑面上的所述多个独立基板，所述真空室与所述吸附孔连接；减压保持部，包含用于向所述真空室供应负压的供应口、以及设置在所述供应口与所述真空室之间的真空阀；其中，在所述真空室被供应负压的状态下所述真空阀通过被关闭而将所述真空室保持在减压状态。由此，能够确保印刷精度，并且通过缩短准备作业时间来能够提高作业效率。【专利说明】
本专利技术涉及搬送夹具及使用该搬送夹具的基板制造方法。
技术介绍
以往，作为在网版印刷工序中提高对基板印刷的印刷精度的技术，已知例如日本专利公开公报特开2009-248551号(以下称为专利文献)记载的基板的制造方法。该制造方法是将多个独立基板保持在印刷台上同时进行印刷的方法。该方法中，通过测定网版印刷工序中实际使用的模板的开口位置，来预先获取实际的开口位置数据。然后，图像识别被保持在印刷台上的各独立基板的位置，根据该识别结果和模板的上...
【技术保护点】
一种搬送夹具，是基板的搬送夹具，其特征在于包括：夹具主体部，包含基板支撑面、多个吸附孔以及一个真空室，所述基板支撑面上载置以指定方式排列的多个独立基板，所述多个吸附孔用于分别吸附载置在所述基板支撑面上的所述多个独立基板，所述真空室与所述吸附孔连接；减压保持部，包含用于向所述真空室供应负压的供应口、以及设置在所述供应口与所述真空室之间的真空阀；其中，在所述真空室被供应负压的状态下所述真空阀通过被关闭而将所述真空室保持在减压状态。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：西城洋志，野末智之，
申请(专利权)人：雅马哈发动机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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