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本发明涉及搬送夹具及基板制造方法，所述搬送夹具是基板的搬送夹具，其包括：夹具主体部，包含基板支撑面、多个吸附孔以及一个真空室，所述基板支撑面上载置以指定方式排列的多个独立基板、所述多个吸附孔用于分别吸附载置在所述基板支撑面上的所述多个独立基...
该专利属于雅马哈发动机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过雅马哈发动机株式会社授权不得商用。

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