【技术实现步骤摘要】
垂直式固态发光元件的制作工艺
本专利技术涉及一种半导体元件的制作工艺,且特别是涉及一种垂直式固态发光元件的制作工艺。
技术介绍
发光二极管(Light-Emitting Diode, LED)主要是通过电能转化为光能的方式发光。传统的垂直式发光二极管包括以光电效应发光的外延成长层以及分别配置于外延成长层的顶面与底面的上电极层与下电极层。当提供电能至发光二极管的上、下电极层时,电流垂直通过外延成长层,且外延成长层因电子与空穴结合后释放能量,并以光的形式发出。传统的垂直式发光二极管的制作过程,是在一晶格常数与外延成长层接近且易于外延成长的蓝宝石基板上形成一发光堆叠结构。然后,在发光堆叠结构的顶面上配置一导电基板。接着,蓝宝石基板再以机械研磨或是激光剥离(Laser lift-off)等方式自发光堆叠结构的底面移除。之后,形成一下电极层于发光堆叠结构的底面上,即完成传统的垂直式发光二极管的制作。然而,传统以机械研磨蓝宝石基板的技术会有研磨厚度不易精准控制和费时的问题,而激光剥离技术虽然可快速剥离蓝宝石基板,但是激光剥离设备昂贵,且激光功率的调整是影响制作工艺良率的关键,若激光功率过高会破坏外延成长层,若激光功率过低亦无法顺利移除蓝宝石基板,造成激光调整的技术层面过高,并非品质可靠的制作工艺技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种垂直式固态发光元件的制作工艺,可简易地剥离承载基板且于剥离承载基板时不会破坏发光堆叠结构,以提高制作工艺的良率与时效。根据本专利技术的一方面,提出一种垂直式固态发光元件的制作工艺,包括下列步骤。提供一承载基板,成长一 M ...
【技术保护点】
一种垂直式固态发光元件的制作工艺,其包括下列步骤:提供一承载基板;成长一M金属氮化物缓冲层于该承载基板上;形成一脆弱结构于该M金属氮化物缓冲层上,其中该脆弱结构含有多个M金属滴状结构(metal?droplet);依序形成一第一型半导体层、一有源层以及一第二型半导体层于该脆弱结构上;形成一第二型电极于该第二型半导体层上,该第一型半导体层、该有源层、该第二型半导体层与该第二型电极构成一发光堆叠结构;破坏该脆弱结构,使其自该发光堆叠结构分离,并使该发光堆叠结构的该第一型半导体层表面裸露;以及形成一第一型电极于该第一型半导体层表面上。
【技术特征摘要】
2012.06.19 TW 1011219551.一种垂直式固态发光元件的制作工艺,其包括下列步骤: 提供一承载基板; 成长一 M金属氮化物缓冲层于该承载基板上; 形成一脆弱结构于该M金属氮化物缓冲层上,其中该脆弱结构含有多个M金属滴状结构(metal droplet); 依序形成一第一型半导体层、一有源层以及一第二型半导体层于该脆弱结构上;形成一第二型电极于该第二型半导体层上,该第一型半导体层、该有源层、该第二型半导体层与该第二型电极构成一发光堆叠结构; 破坏该脆弱结构,使其自该发光堆叠结构分离,并使该发光堆叠结构的该第一型半导体层表面裸露;以及` 形成一第一型电极于该第一型半导体层表面上。2.如权利要求1所述的垂直式固态发光元件的制作工艺,其中形成该脆弱结构的步骤: (1)成长一第一M金属氮化物层于该M金属氮化物缓冲层上; (2)通入一第一反应气体与该第一M金属氮化物层反应,而使部分M金属自该第一M金属氮化物层中被析出,并于其表面上生成多个M金属滴状结构; (3)通入一第二反应气体与该些M金属滴状结构反应,并在该些M金属滴状结构表面上分别生成一M金属氮化物; (4)成长一第二M金属氮化物层,于该第一 M金属氮化物层上,并覆盖步骤(3)所形成的该些表面分别具有该M金属氮化物的M金属滴状结构,构成一脆弱层;以及 (5)重复步骤(2广(4),形成多个该脆弱层。3.如权利要求1或2所述的垂直式固态发光元件的制作工艺,其中该M金属的材质由周期表1II族元素所构成。4.如权利要求3所述的垂直式固态发光...
【专利技术属性】
技术研发人员:梁文灯,
申请(专利权)人:隆达电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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