用于整理料盒内晶片的整理装置及具有其的半导体设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于整理料盒内晶片的整理装置，用于在位于腔体内的料盒完成升降旋转动作到达预定工位后对料盒内的晶片进行整理，包括：整片板，用于整理所述料盒内的晶片；第一驱动部件，所述第一驱动部件设在所述腔体上方且所述第一驱动部件的下端伸入所述腔室内，以驱动所述整片板在所述腔室内沿竖直方向移动；和第二驱动部件，所述第二驱动部件分别与所述整片板和所述第一驱动部件的下端连接，所述第二驱动部件用于驱动所述整片板在所述腔室内沿水平方向移动。根据本发明专利技术的用于整理料盒内晶片的整理装置，整片效率高，无需加高腔体的高度，充分利用了现有空间。本发明专利技术还公开了一种半导体设备。

【技术实现步骤摘要】
用于整理料盒内晶片的整理装置及具有其的半导体设备
本专利技术涉及半导体制造领域，尤其是涉及一种用于整理料盒内晶片的整理装置及具有其的半导体设备。
技术介绍
在半导体和LED行业中，需要自动取放片装置实现晶片的自动取放。自动取放片装置包括通用的机械手臂，通过机械手臂末端的吸盘吸附晶片，并完成伸缩、旋转等操作，最终把传输腔料盒内的晶片精确地放到反应腔石墨盘上的工位槽内，为了定位装片与放片工位，一般要有与机械手臂配合的升降、旋转装置。但是，料盒在升降旋转过程中，料盒内的晶片极易偏离初始位置，变得不齐整，从而导致机械手臂取片后不能将晶片精确的放到石墨盘的工位槽内。因此，在料盒完成升降旋转动作到达预定工位后，需要一种料盒晶片的整理系统对料盒内的晶片进行整理，从而使机械手臂能够精确的将晶片放到工位槽内。一种传统的料盒内晶片的整理系统由旋转气缸、磁流体、旋转轴及整片板构成。在对料盒内晶片整理的过程中，需要托盘升降旋转机构配合。这种整理系统虽然结构简单，但是却存在如下两个缺点:1)旋转气缸每旋转一次只能整理一个晶片，整片效率低；2)在整片系统整理晶片过程中，需要托盘升降旋转机构来配合整理晶片，控制过程较为复杂，进一步影响了整片效率。另一种传统的料盒内晶片的整理系统由伸缩气缸、波纹管、伸缩轴及整片板构成。整理系统整片效率高且整片过程中不需要托盘频繁升降，但是，该整理系统也存在两个缺点:1)料盒晶片整理系统与机械手在同一个方向上，占用空间较大，需要传输腔室加高，料盒升降行程加大；2)通过伸缩气缸伸缩直接整理料盒内晶片，伸缩气缸行程控制精度相对较差，从而影响整片效率。【
技术实现思路
】本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种用于整理料盒内晶片的整理装置，所述整理装置整片效率高且可充分利用腔体的高度，无需增高腔体。本专利技术的另一个目的在于提出一种具有上述用于整理料盒内晶片的整理装置的半导体设备。根据本专利技术第一方面实施例的用于整理料盒内晶片的整理装置，用于在位于腔体内的料盒完成升降旋转动作到达预定工位后对料盒内的晶片进行整理，包括:整片板，用于整理所述料盒内的晶片；第一驱动部件，所述第一驱动部件设在所述腔体上方且所述第一驱动部件的下端伸入所述腔室内，以驱动所述整片板在所述腔室内沿竖直方向移动；和第二驱动部件，所述第二驱动部件分别与所述整片板和所述第一驱动部件的下端连接，所述第二驱动部件用于驱动所述整片板在所述腔室内沿水平方向移动。根据本专利技术实施例的用于整理料盒内晶片的整理装置，第一驱动部件驱动整片板移动至整片位，第二驱动部件驱动整片板进行整片操作，在整片过程中，整片板可一次性对一个料盒内的所有晶片进行整理，且不需要升降机构连续上升配合整片板整片，从而大大提高了整片效率，同时，整理装置在保证一定整片效率的条件下，通过将第一驱动部件与机械手设在腔体的不同侧，例如第一驱动部件设在腔体的上方，而机械手设在腔体的右侧，与传统驱动部件和机械手设在同一侧例如均设在左侧的方式相比，无需加大腔体的高度，从而使整理装置的结构变得更加紧凑、合理，充分利用现有空间，避免造成空间上的浪费。另外，根据本专利技术的用于整理料盒内晶片的整理装置，还可以具有如下附加技术特征:[0011 ] 在本专利技术的一个实施例中，所述第一驱动部件包括:伸缩缸，所述伸缩缸设在所述腔体上方；升降轴，所述升降轴的上端与所述伸缩缸相连且所述升降轴的下端伸入所述腔室内，所述第二驱动部件分别与所述整片板和所述升降轴的下端连接。可选地，所述伸缩缸为伸缩气缸或伸缩油缸。在本专利技术的一个实施例中，所述第二驱动部件包括:电机，所述电机安装在所述升降轴的下端；和曲柄机构，所述曲柄机构由所述电机驱动，且所述曲柄机构与所述整片板相连以驱动所述整片板沿水平方向移动。在本专利技术的一个实施例中，所述整理装置还包括支架，所述支架安装在所述升降轴的下端，所述支架上设有滑道，所述曲柄机构包括滑块，所述曲柄机构通过所述滑块与所述整片板相连，且所述滑块配合在所述滑道内。可选地，所述腔体的顶壁上设有波纹管，所述升降轴穿过所述波纹管。在本专利技术的一个实施例中，所述整片板为弧形板，所述弧形板设置为沿远离所述料盒的方向凸出且所述弧形板的长度方向平行于竖直方向。可选地，所述整理装置还可包括稳定杆，所述稳定杆的两端分别与所述支架和所述升降轴相连，用以在稳定杆、支架和升降轴之间形成三角稳定支撑结构。根据本专利技术实施例的用于整理料盒内晶片的整理装置，无需升降机构频繁升降定位配合，整片板一次伸缩到位且作一次往复直线运动就可整理一个料盒内的所有晶片，大大提高了整片效率，同时通过设置曲柄机构驱动整片板，提高了整片板的定位精度，从而提高了整片效果，方便机械手抓取操作，另外，第一驱动部件与机械手设在腔体的不同侧，具体而言，第一驱动部件设置在腔体的上方，而机械手设置在腔体的右侧，从而有效减小了腔体的高度，使腔体内的空间能够被更加充分、合理地利用，避免空间上的浪费。根据本专利技术第二方面实施例的半导体设备，半导体设备包括:腔体，所述腔体具有腔室，料盒容纳在腔室内；升降机构，用于当需要对腔室内的料盒进行整理时，带动位于其上的料盒升至整片高度；机械手，用于抓取所述料盒内的晶片，其中所述机械手设在所述腔体的外部；以及根据本专利技术上述第一方面实施例中的用于整理料盒内晶片的整理装置。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。【附图说明】本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:图1是根据本专利技术实施例的用于整理料盒内晶片的整理装置的结构示意图。【具体实施方式】下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的整理装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确的限定。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于整理料盒内晶片的整理装置，用于在位于腔体内的料盒完成升降旋转动作到达预定工位后对料盒内的晶片进行整理，其特征在于，包括：整片板，用于整理所述料盒内的晶片；第一驱动部件，所述第一驱动部件设在所述腔体上方且所述第一驱动部件的下端伸入所述腔室内，以驱动所述整片板在所述腔室内沿竖直方向移动；和第二驱动部件，所述第二驱动部件分别与所述整片板和所述第一驱动部件的下端连接，所述第二驱动部件用于驱动所述整片板在所述腔室内沿水平方向移动。

【技术特征摘要】
1.一种用于整理料盒内晶片的整理装置，用于在位于腔体内的料盒完成升降旋转动作到达预定工位后对料盒内的晶片进行整理，其特征在于，包括: 整片板，用于整理所述料盒内的晶片； 第一驱动部件，所述第一驱动部件设在所述腔体上方且所述第一驱动部件的下端伸入所述腔室内，以驱动所述整片板在所述腔室内沿竖直方向移动；和 第二驱动部件，所述第二驱动部件分别与所述整片板和所述第一驱动部件的下端连接，所述第二驱动部件用于驱动所述整片板在所述腔室内沿水平方向移动。2.根据权利要求1所述的用于整理料盒内晶片的整理装置，其特征在于，所述第一驱动部件包括: 伸缩缸，所述伸缩缸设在所述腔体上方； 升降轴，所述升降轴的上端与所述伸缩缸相连且所述升降轴的下端伸入所述腔室内，所述第二驱动部件分别与所述整片板和所述升降轴的下端连接。3.根据权利要求2所述的用于整理料盒内晶片的整理装置，其特征在于，所述伸缩缸为伸缩气缸或伸缩油缸。4.根据权利要求2所述的用于整理料盒内晶片的整理装置，其特征在于，所述第二驱动部件包括: 电机，所述电机安装在所述升降轴的下端；和 曲柄机构，所述曲柄机构由所述电机驱动，且所述曲柄机构与所述整片板相连以驱动所述整片板沿水...

【专利技术属性】
技术研发人员：党志泉，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：