下载用于整理料盒内晶片的整理装置及具有其的半导体设备的技术资料

文档序号:9570089

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本发明公开了一种用于整理料盒内晶片的整理装置,用于在位于腔体内的料盒完成升降旋转动作到达预定工位后对料盒内的晶片进行整理,包括:整片板,用于整理所述料盒内的晶片;第一驱动部件,所述第一驱动部件设在所述腔体上方且所述第一驱动部件的下端伸入所述...
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