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本发明公开了一种用于整理料盒内晶片的整理装置,用于在位于腔体内的料盒完成升降旋转动作到达预定工位后对料盒内的晶片进行整理,包括:整片板,用于整理所述料盒内的晶片;第一驱动部件,所述第一驱动部件设在所述腔体上方且所述第一驱动部件的下端伸入所述...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。