一种兼容晶圆针测和封装测试的多功能探针卡制造技术

技术编号:9477919 阅读:84 留言:0更新日期:2013-12-19 06:35
本实用新型专利技术公开了一种兼容晶圆针测和封装测试的多功能探针卡,包括基板,所述基板既可安装探针进行晶圆针测,也可安装插座进行小批量封装评价测试,所述基板由外向内设有弹簧触点、探针焊点及中心无电路区域;所述基板外围区域设有弹簧触点,该弹簧触点与测试仪连接,所述基板中心无电路区域周边预留管脚插座及对应焊盘,该焊盘与探针焊点相连接;该管脚插座上安装测试板,该测试板上设有插座。这也就实现了既可以进行晶圆针测也可以进行小批量封装评价测试的多功能探针卡。本实用新型专利技术实现了一张探针卡既可以进行晶圆针测也可以进行小批量封装评价测试,并且2种测试可同时进行,对测试效率有一定的提升。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种兼容晶圆针测和封装测试的多功能探针卡,其特征在于,该探针卡包括基板,所述基板由外向内设有弹簧触点、探针焊点及中心无电路区域;所述基板外围区域设有弹簧触点,该弹簧触点与测试仪连接,所述基板中心无电路区域周边预留管脚插座及对应焊盘,该焊盘与探针焊点相连接;该管脚插座上安装测试板,该测试板上设有插座。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈婷辛吉升谢晋春朱渊源
申请(专利权)人:上海华虹NEC电子有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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