本发明专利技术公开了一种基片装载装置，包括：基片上料组件，包括：分别放置有基片的至少两个料盒；平行地水平设置且沿传输方向同步运动的至少三条传送带；上料台，上料台与至少三条传送带的第二端对应设置；限位组件，所述限位组件设在上料台的第二端上以同步停止至少三条传送带；和取片机械手；载片装置，所述载片装置包括升起气缸和设在升起气缸上方的至少两个托盘，其中取片机械手将取到的至少两个基片一一对应地放置到至少两个托盘上；与上料台并列设置的载板；以及设在载板和载片装置之间的上料机械手。根据本发明专利技术的基片装载装置，整个上料过程的效率得到了大幅的提高，节省了成本，而且结构简单。本发明专利技术还公开了一种PECVD设备。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种基片装载装置，包括：基片上料组件，包括：分别放置有基片的至少两个料盒；平行地水平设置且沿传输方向同步运动的至少三条传送带；上料台，上料台与至少三条传送带的第二端对应设置；限位组件，所述限位组件设在上料台的第二端上以同步停止至少三条传送带；和取片机械手；载片装置，所述载片装置包括升起气缸和设在升起气缸上方的至少两个托盘，其中取片机械手将取到的至少两个基片一一对应地放置到至少两个托盘上；与上料台并列设置的载板；以及设在载板和载片装置之间的上料机械手。根据本专利技术的基片装载装置，整个上料过程的效率得到了大幅的提高，节省了成本，而且结构简单。本专利技术还公开了一种PECVD设备。【专利说明】基片装载装置和PECVD设备
本专利技术涉及半导体制造
，特别是涉及一种基片装载装置和具有其的PECVD设备。
技术介绍
在传统的太阳能平板式PECVD (等离子体增强化学气相沉积)设备中，电池片料盒通过上料结构上料，其中取片机械手将电池片从料盒中逐片取出并将该基片放到顶起气缸的托盘上。然后高速机械手将电池片逐片地放到载板上。在载板装满后传入PECVD中进行工艺，在进行工艺处理后经过回收系统以及下料结构将电池片传出。取片机械手的取片效率低，导致高速机械手的能效不能充分地发挥，从而整个上料过程的效率很低。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术需要提供一种基片装载装置，所述基片装载装置的结构简单，控制和操作简单，成本低，且基片的装载效率高。本专利技术进一步还需要提供一种具有上述基片装载装置的PECVD设备。根据本专利技术第一方面实施例的基片装载装置，包括:基片上料组件，所述基片上料组件包括:至少两个料盒，所述至少两个料盒中分别放置有基片；至少三条传送带，所述至少三条传送带平行地水平设置且沿着所述传输带的传输方向同步运动用于将至少两个料盒从所述传送带的第一端同步传送至第二端；上料台，所述上料台与所述至少三条传送带的第二端对应设置以接纳所述至少三条传送带送来的至少两个料盒；限位组件，所述限位组件设在所述上料台的第二端上，当所述至少两个料盒到达所述限位组件处时所述至少三条传送带同步停止；和取片机械手，所述取片机械手用于从所述至少两个料盒内中同时一一对应地取出至少两个基片放置到载板上；载片装置，所述载片装置包括升起气缸和设在所述升起气缸上方的至少两个托盘，其中所述基片上料组件中的取片机械手将取到的至少两个基片一一对应地放置到所述至少两个托盘上；载板，载板与所述上料台并列设置；以及上料机械手，所述上料机械手设在所述载板和所述载片装置之间以将所述托盘上的至少两个基片取出并放置到所述载板上。根据本专利技术实施例的基片装载装置，通过至少两个料盒同时上料，实现了倍数上料的思想，使得可同时向载板上装载多个基片，基片的装载效率高，结构简单，控制和操作简单且成本低。另外，通过设置限位组件，可保证料盒传送到上料台的正确位置上。另外，根据本专利技术的基片装载装置还具有如下附加技术特征:所述限位组件包括:至少两块挡板，所述至少两块挡板与所述至少两个料盒的位置在所述传输方向上一一对应以止挡所述至少两个料盒；和限位开关，其中当所述至少两个挡板止挡住所述至少两个料盒时，所述限位开关动作以控制所述至少三个传送带同步停止。所述至少三条传送带包括:第一和第二传送带，所述第一和第二传输带平行设置；第三传送带，所述第三传送带位于所述第一和第二传送带之间，其中所述第三传送带的宽度大于所述第一和第二传送带的宽度。可选地，所述第三传送带的数量为一条。可选地，所述第一和第二传送带的宽度相等。由此制造方便且成本低。所述取片机械手具有:支架；手臂，所述手臂的一端与所述支架相连；和至少两个基片吸附件，所述至少两个基片吸附件设在所述手臂上且沿所述手臂的长度方向间隔开以便从所述至少两个料盒内同时吸附出至少两个基片。可选地，所述基片吸附件为吸盘。所述上料机械手包括上料手臂和至少两个上料吸盘，所述至少两个上料吸盘设在所述上料手臂上且沿所述手臂的长度方向间隔开以便从所述至少两个托盘上同时吸附出至少两个基片放置到所述载板上。所述上料机械手与所述取片机械手相连。由此，简化了整个基片装载装置的结构，且节省了成本。根据本专利技术实施例的基片装载装置，可同时向载板上装载多个基片，基片的装载效率高、结构简单，控制和操作简单且成本低。根据本专利技术第二方面实施例的一种PECVD设备，包括根据本专利技术第一方面实施例所述的基片装置。本专利技术的附加方面和优点`将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。【专利附图】【附图说明】本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:图1是根据本专利技术的实施例的基片装载装置的示意图；图2是图1中所示的基片装载装置中的基片上料组件中的传送带的示意图；图3是图1中所示的基片上料组件中的取片机械手的结构示意图；图4是图1中所示的基片上料组件中的载片装置的结构示意图；图5是图4中所示的载片装置的俯视图；和图6是图1中所示的基片上料组件中的上料机械手的俯视结构示意图。【具体实施方式】下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。下面首先参考图1描述根据本专利技术的实施例的基片装载装置，用于装载基片200例如电池片，以便对基片200进行加工操作。根据本专利技术实施例的基片装载装置包括:基片上料组件100、载片装置300、载板400和上料机械手500，其中基片上料组件100包括:至少两个料盒110、至少三条传送带、上料台130、限位组件140和取片机械手150。图1中显示了两个料盒110用于示例说明的目的，但是普通技术人员在阅读了下面的技术方案之后、显然可以理解将该方案应用到三个或者更多个料盒的技术方案中，这也落入本专利技术的保护范围之内。两个料盒110中可以容纳基片200。可选地，在料盒110内可沿上下方向排列多层基 片200。至少三条传送带平行地水平设置且沿传输方向Al同步运动用于将料盒1本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种基片装载装置，包括基片上料组件，其特征在于，所述基片上料组件包括：至少两个料盒，所述至少两个料盒用于在其中容纳基片；至少三条传送带，所述至少三条传送带平行地水平设置且沿着所述传输带的传输方向同步运动用于将至少两个料盒从所述传送带的第一端同步传送至第二端；上料台，所述上料台与所述至少三条传送带的第二端对应设置以接纳所述至少三条传送带送来的至少两个料盒；限位组件，所述限位组件设在所述上料台的第二端上，当所述至少两个料盒到达所述限位组件处时所述至少三条传送带同步停止；以及取片机械手，所述取片机械手用于从所述至少两个料盒内中同时对应地取出至少两个基片放置到载板上；载片装置，所述载片装置包括升起气缸和设在所述升起气缸上方的至少两个托盘，其中所述基片上料组件中的取片机械手将取到的至少两个基片一一对应地放置到所述至少两个托盘上；载板，载板与所述上料台并列设置；以及上料机械手，所述上料机械手设在所述载板和所述载片装置之间以将所述托盘上的至少两个基片取出并放置到所述载板上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张孟湜，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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