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本发明公开了一种基片装载装置，包括：基片上料组件，包括：分别放置有基片的至少两个料盒；平行地水平设置且沿传输方向同步运动的至少三条传送带；上料台，上料台与至少三条传送带的第二端对应设置；限位组件，所述限位组件设在上料台的第二端上以同步停止至...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。