掩膜版装载装置及显示面板制备系统制造方法及图纸

本公开提供一种掩膜版装载装置及显示面板制备系统，该掩膜版装载装置包括开口、托架、第一驱动组件，门板和第二驱动组件，开口位于一隔离面上；托架用于承载掩膜版；第一驱动组件与所述托架连接，用于驱动所述托架相对所述隔离面往复移动，以带动所述掩膜版从所述开口穿出或缩回；门板与所述隔离面平行设置且面积不小于所述开口；第二驱动组件用于驱动所述门板相对于所述开口往复平移，以遮蔽所述开口或露出所述开口。

Mask plate loading device and display panel preparation system

The present invention provides a mask loading device and a display panel preparation system, the mask loading device comprises an opening, bracket, the first driving component, the door and the second drive components, opening in an isolation surface; bracket for carrying the mask; the first driving component is connected with the bracket for driving the bracket relative to the isolation surface reciprocating movement to drive the mask opening out the door or retract; and the isolation surface is arranged in parallel and the area is not less than the opening; second drive assembly for driving the reciprocating translation with respect to the opening door, opening to cover the opening or show the.

【技术实现步骤摘要】
掩膜版装载装置及显示面板制备系统
本公开涉及显示
，具体而言，涉及一种掩膜版装载装置及显示面板制备系统。
技术介绍
目前，在半导体和液晶显示面板的制造领域，光刻工艺是必不可少核心工艺，通常包括涂布光刻胶、曝光、显影和刻蚀等工艺。其中，在曝光工序中，需要使用掩膜版，掩膜版一般包括透光和不透光的区域，以便在光刻胶上形成所需图形。随着产量的提高，掩膜版的使用十分频繁，需要对掩膜版进行清洗、搬运。但现有技术中，通常需要人工将掩膜版从清洗装置或者其它装置取出，再通过台车等运输工具运至指定位置，以便对使掩膜版在不同工位间输送。但由于需要人工进行较多操作，使得工作效率较低，不利于节省人力资源，同时，人工操作过多也容易造成产品损坏，不利于降低成本。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种掩膜版装载装置及显示面板制备系统，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。根据本公开的一个方面，提供一种掩膜版装载装置，包括：开口，位于一隔离面上；托架，用于承载掩膜版；第一驱动组件，与所述托架连接，用于驱动所述托架相对所述隔离面往复移动，以带动所述掩膜版从所述开口穿出或缩回；门板，与所述隔离面平行设置且面积不小于所述开口；第二驱动组件，用于驱动所述门板相对于所述开口往复平移，以遮蔽所述开口或露出所述开口。在本公开的一种示例性实施方式中，驱动所述门板相对于所述开口往复平移包括驱动所述门板相对于所述开口沿竖直方向或水平方向直线往复平移。在本公开的一种示例性实施方式中，所述掩膜版装载装置还包括：控制组件，用于响应第一启动信号以控制所述第一驱动组件使所述托架往复移动和响应第一停止信号以控制所述第一驱动组件使所述托架停止；以及，响应第二启动信号以控制第二驱动组件使所述门板往复平移和响应第二停止信号以控制所述第二驱动组件使所述门板停止。在本公开的一种示例性实施方式中，所述掩膜版装载装置还包括：第一感应组件，用于感应所述托架的位置，且用于在所述托架穿出所述开口至第一预定位置或缩回所述开口至第二预定位置时触发所述第一停止信号。在本公开的一种示例性实施方式中，所述第一感应组件包括：第一传感器，用于感应所述托架位置，且用于在所述托架移动至所述第一预定位置时向所述控制组件发送所述第一停止信号；第二传感器，用于感应所述托架位置，且用于在所述托架移动至所述第二预定位置时向所述控制组件发送所述第一停止信号。在本公开的一种示例性实施方式中，所述掩膜版装载装置还包括：第二感应组件，用于感应所述门板的位置，且用于在所述门板平移至遮蔽所述开口或露出所述开口的位置时触发所述第二停止信号。在本公开的一种示例性实施方式中，所述第二感应组件还包括：第三传感器，用于感应所述门板位置，且用于在所述门板平移至遮蔽所述开口的位置时向所述控制组件发送所述第二停止信号；第四传感器，用于感应所述门板位置，且用于在所述门板平移至露出所述开口的位置时向所述控制组件发送所述第二停止信号。在本公开的一种示例性实施方式中，所述掩膜版装载装置还包括：通信组件；远程控制系统，用于通过所述通信组件与所述控制组件通信，并向所述控制组件发送所述第一启动信号和所述第二启动信号。在本公开的一种示例性实施方式中，所述第一驱动组件包括第一直线电机，所述第一直线电机与所述托架连接，并能驱动所述托架往复移动；根据上述任意一项所述掩膜版装载装置，所述第二驱动组件包括第二直线电机，所述第二直线电机与所述门板连接，用于驱动所述门板往复平移。根据本公开的另一个方面，提供一种显示面板制备系统，包括上述任意一项所述的掩膜版装载装置。本公开的掩膜版装载装置及显示面板制备系统，可通过第二驱动组件驱动门板遮蔽开口，实现关门动作；或着驱动门板露出开口，实现开门动作；可将掩膜版承载于托架上，在门板露出开口时，通过第一驱动组件驱动托架载运掩膜版从开口穿出至隔离面外，以便台车运输，或者从开口缩回，以便将掩膜版载运至隔离面内；避免了采用人工方式将掩膜版取出或放回，在隔离面内，可进行清洗、存放等工作。由此，可提高工作效率，节省了人力资源；有利于减少人工操作造成产品损坏，使成本降低。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施方式，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1示意性示出掩膜版装载装置一实施方式的开口打开时的示意图。图2示意性示出图1中的托架穿出开口时的示意图。图3示意性示出图1中的开口关闭时的示意图。图4示意性示出掩膜版装载装置的另一实施方式的示意图。图5示意性示出掩膜版装载装置的电路原理框图。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本专利技术将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。虽然本说明书中使用相对性的用语，例如“上”“下”来描述图标的一个组件对于另一组件的相对关系，但是这些术语用于本说明书中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。能理解的是，如果将图标的装置翻转使其上下颠倒，则所叙述在“上”的组件将会成为在“下”的组件。其他相对性的用语，例如“”高”“低”“顶”“底”等也作具有类似含义。当某结构在其它结构“上”时，有可能是指某结构一体形成于其它结构上，或指某结构“直接”设置在其它结构上，或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。用语“该”和“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。本示例实施方式中提供了一种掩膜版装载装置，如图1～图3，该掩膜版装载装置可以包括隔离面1、开口2、托架3、门板4、第一驱动组件5、和第二驱动组件6，其中：隔离面1可以可为一平板结构的表面，该平板结构可用于分隔出至少两个独立的两个区域，掩膜版12可在这两个区域之间移动；或者，隔离面1也可以是一中空的箱体结构的表面，在该箱体结构内可用来对掩膜版12的清洗或存放等，在此不做特殊限定；且在本公开的其它示例实施方式中，隔离面1还可以是其它结构的一表面，只要能起到分隔作用即可。开口2可开设于位于一隔离面上，开口2的形状在此不作特殊限定；托架3可以是一平板或者框架，掩膜版12可置于该托架3上，当然，托架3也可以是其它结构，只要能够承载掩膜版12即可，在此不再列举其结构；托架3可相对隔离面1沿水平方向滑动或相对于水平面斜向滑动，以隔离面1为上述箱体结构的表面为例，托架3可与该箱体结构的内壁通过滑轨滑动连接，且当托架3移动时，可载运本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜版装载装置，其特征在于，包括：开口，位于一隔离面上；托架，用于承载掩膜版；第一驱动组件，与所述托架连接，用于驱动所述托架相对所述隔离面往复移动，以带动所述掩膜版从所述开口穿出或缩回；门板，与所述隔离面平行设置且面积不小于所述开口；第二驱动组件，用于驱动所述门板相对于所述开口往复平移，以遮蔽所述开口或露出所述开口。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版装载装置，其特征在于，包括：开口，位于一隔离面上；托架，用于承载掩膜版；第一驱动组件，与所述托架连接，用于驱动所述托架相对所述隔离面往复移动，以带动所述掩膜版从所述开口穿出或缩回；门板，与所述隔离面平行设置且面积不小于所述开口；第二驱动组件，用于驱动所述门板相对于所述开口往复平移，以遮蔽所述开口或露出所述开口。2.根据权利要求1所述掩膜版装载装置，其特征在于，驱动所述门板相对于所述开口往复平移包括驱动所述门板相对于所述开口沿竖直方向或水平方向直线往复平移。3.根据权利要求1或2所述掩膜版装载装置，其特征在于，所述掩膜版装载装置还包括：控制组件，用于响应第一启动信号以控制所述第一驱动组件使所述托架往复移动和响应第一停止信号以控制所述第一驱动组件使所述托架停止；以及，响应第二启动信号以控制第二驱动组件使所述门板往复平移和响应第二停止信号以控制所述第二驱动组件使所述门板停止。4.根据权利要求3所述掩膜版装载装置，其特征在于，所述掩膜版装载装置还包括：第一感应组件，用于感应所述托架的位置，且用于在所述托架穿出所述开口至第一预定位置或缩回所述开口至第二预定位置时触发所述第一停止信号。5.根据权利要求4所述掩膜版装载装置，其特征在于，所述第一感应组件包括：第一传感器，用于感应所述托架位置，且用于在所述托架移动至所述第一预定位置时向...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军帽，张玉虎，岳浩，聂彬，
申请(专利权)人：合肥京东方光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34