展平装置及磁控溅射卷绕镀膜设备制造方法及图纸

技术编号:9417761 阅读:117 留言:0更新日期:2013-12-06 03:47
一种展平装置,包括展平辊,展平辊呈中空密闭状且充入气体后可膨胀,展平辊设有旋转轴,还包括气管、充气泵和动力装置;气管的一端与展平辊连通,充气泵的一端与气管的另一端连通,气体通过气管进入展平辊,动力装置的输出端通过旋转轴与展平辊连接,带动展平辊转动;上述展平装置工作时,动力装置使展平辊连续地旋转;充气泵通过气管向展平辊内充入气体,展平辊充入气体后膨胀;在镀膜的过程中,柔性基材周期性地由放卷装置放卷,收卷装置收卷,充入气体后膨胀的展平辊连续地旋转且直接与柔性基材接触,对柔性基材产生压力,可防止柔性基材在镀膜过程中产生皱褶,提高生产良率及质量。同时提供一种应用改展平装置的磁控溅射卷绕镀膜设备。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种展平装置,其特征在于,包括:展平辊,所述展平辊呈中空密闭状且充入气体后可膨胀,所述展平辊内部设有旋转轴,且所述旋转轴的轴向长度大于所述展平辊的轴向长度;气管,所述气管的一端与所述展平辊连通;充气泵,所述充气泵的一端与所述气管的另一端连通,气体通过所述气管进入所述展平辊;动力装置,所述动力装置的输出端通过所述旋转轴与所述展平辊连接,带动所述展平辊旋转。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李晨光
申请(专利权)人:南昌欧菲光科技有限公司深圳欧菲光科技股份有限公司苏州欧菲光科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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