基板输送辊、薄膜的制造装置以及薄膜的制造方法制造方法及图纸

基板输送辊6具备第1壳体11、第2壳体13、内块3、歧管4以及间隙部15。第1壳体11具有作为气体的供给路径的多个第1贯通孔12。内块3配置在第1壳体11的内部。在内块3形成歧管以在特定的角度的范围内向第1贯通孔12引导气体。间隙部15形成为在特定的角度的范围外向第1贯通孔12引导气体。第2壳体13具有从歧管4向第1贯通孔12引导气体的第2贯通孔，配置在第1壳体11与内块3之间。第1贯通孔12的中心轴从第2贯通孔14的中心轴偏移。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈崎祯之，本田和义，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：
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