一种线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备技术方案

本实用新型专利技术公开了一种线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备，其中，所述线列式多片传输系统包括支撑架和两个以上线列式的装载单元，所述装载单元包括相互固连的承载支架和支架传送装置，所述支架传送装置滑动内嵌于所述支撑架内，所述支架传送装置带动所述承载支架做线性运动；且在所述支撑架上设有检测处于两端的所述装载单元装载状况的光电传感器。使用所述线列式多片传输系统的薄膜沉积设备可以一次投入多片待沉积基板，解决了现有技术中一次只能投放一片而造成的生产效率低下的问题，可有效提高生产效率、降低生产成本，且结构简单，应用前景广阔。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种线列式多片传输系统，其特征在于：包括支撑架（1）和两个以上线列式的装载单元，所述装载单元包括相互固连的承载支架（2）和支架传送装置（3），所述支架传送装置（3）滑动内嵌于所述支撑架（1）内，所述支架传送装置（3）带动所述承载支架（2）做线性运动；且在所述支撑架（1）上设有检测处于两端的所述装载单元装载状况的光电传感器（4）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张超，梁敏敏，彭侃，
申请(专利权)人：汉能新材料科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：