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本实用新型公开了一种线列式多片传输系统及使用其的薄膜沉积设备，其中，所述线列式多片传输系统包括支撑架和两个以上线列式的装载单元，所述装载单元包括相互固连的承载支架和支架传送装置，所述支架传送装置滑动内嵌于所述支撑架内，所述支架传送装置带动所...
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