真空离子镀膜生产线制造技术

真空离子镀膜生产线，属于真空镀膜技术领域。它包括电控系统、炉体主机、真空机组、传动系统，炉体主机数量至少为3个，位于两端的炉体主机，一个作为预抽室、一个作为放气室，其余位于中间的炉体主机作为镀膜室，预抽室、放气室端部设有翻板式隔离门阀，相邻的两个炉体主机之间通过翻板式隔离门阀连接，各炉体主机配装一套独立真空机组。传动系统包括若干套工件架车、外部物流小车及独立安装在各炉体内的传动机构。本生产线相比单机无论从产能，成膜质量，设备成本等方面都有很大优势。该生产线装置结构紧凑、可靠性高、可以提高生产效率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
真空离子镀膜生产线，包括电控系统、炉体主机、真空机组、传动系统，其特征在于：所述的炉体主机数量至少为3个，位于两端的炉体主机，一个作为预抽室、一个作为放气室，其余中间的炉体主机作为镀膜室，预抽室、放气室端部设有翻板式隔离门阀，相邻的两个炉体主机之间通过翻板式隔离门阀连接，各炉体主机配装一套独立真空机组。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郎人和，王海，白海萍，
申请(专利权)人：沈阳威利德真空技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：