在此提供双臂基板移送机器人的实施例。在某些实施例中，双臂基板移送机器人可包括中央致动器，围绕中央轴旋转移送机器人；连接臂，该连接臂拥有第一端以及通常与第一端相对的第二端，其中该连接臂在介于第一端与第二端之间毗邻连接臂中心处与中央致动器连接；第一前臂，与连接臂的第一端可旋转地连接；第二前臂，与连接臂的第二端可旋转地连接；第一前臂致动器，控制第一前臂相对于连接臂的旋转；以及第二前臂致动器，控制第二前臂相对于连接臂的旋转，其中第一前臂致动器与第二前臂致动器从中央致动器横向偏位。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】在此提供双臂基板移送机器人的实施例。在某些实施例中，双臂基板移送机器人可包括中央致动器，围绕中央轴旋转移送机器人；连接臂，该连接臂拥有第一端以及通常与第一端相对的第二端，其中该连接臂在介于第一端与第二端之间毗邻连接臂中心处与中央致动器连接；第一前臂，与连接臂的第一端可旋转地连接；第二前臂，与连接臂的第二端可旋转地连接；第一前臂致动器，控制第一前臂相对于连接臂的旋转；以及第二前臂致动器，控制第二前臂相对于连接臂的旋转，其中第一前臂致动器与第二前臂致动器从中央致动器横向偏位。【专利说明】小尺寸双臂真空机器人
本专利技术实施例大体涉及用于处理基板的设备。
技术介绍
现有的基板制造通常需要在基板上执行多个处理，所述多个处理是在很多不同的处理腔室内执行的，所述处理腔室例如蚀刻或沉积腔室、冷却腔室、负载锁定室或诸如此类腔室。所述处理腔室通常是与中央真空腔室连接的整合系统或群集工具的一部分。移送机器人设置在该中央真空腔室内以将基板从一个腔室移动至另一个腔室。为了提高整合系统的效率，通常将移送机器人配置为在中央真空腔室内同时传送多个基板。但是，随着移送机器人的复杂度的提高，移送机器人的整体尺寸也会增加，最终成为决定该整合系统的紧凑度的限制因素。例如，在传统的大型基板(例如，太阳能板、多个晶圆的承载框架、平板显示器、或诸如此类)的制造处理中，移送机器人可包括单件构造，该构造具有三个或更多个在中央轴上于彼此顶部堆叠的旋转致动器，其中所述旋转致动器经由一系列滑轮和皮带来控制移送机器人的两个或更多个手臂。但是，以这种方式配置的移送机器人的整体尺寸使得在不对该整合系统进行实质改造的情况下很难，或不可能将该移送机器人安装在现有的整合系统内。此外，即使安装了移送机器人，该移送机器人的整体尺寸与单件构造也使得在不从整合系统完全移除该移送机器人的情况下难以对该移送机器人进行维护。因此，本专利技术的专利技术人提供一种与整合制造系统并用的改良的基板移送机器人。
技术实现思路
在此提供双臂基板移送机器人的实施例。在某些实施例中，双臂基板移送机器人可包括中央致动器，围绕中央轴旋转移送机器人的中央致动器；连接臂，拥有第一端以及通常与第一端相对的第二端，其中该连接臂在介于第一端与第二端之间毗邻连接臂中心处与中央致动器连接；第一前臂，可旋转地与连接臂的第一端连接；第二前臂，可旋转地与连接臂的第二端连接；第一前臂致动器，控制第一前臂相对于连接臂的旋转；以及第二前臂致动器，控制第二前臂相对于连接臂的旋转，其中第一前臂致动器与第二前臂致动器从中央致动器横向偏位。本专利技术的其它与进一步实施例在下文描述。【专利附图】【附图说明】可通过参考在附图中示出的本专利技术的说明性实施例来了解本专利技术实施例，本专利技术实施例简短地在前面概括并在随后更详细地讨论。但应注意的是，附图仅示出本专利技术的典型实施例，因此不应视为是对本专利技术实施例范围的限制，因为本专利技术可涵盖其它的等效实施例。图1为适于与根据本专利技术某些实施例的本专利技术的双臂基板移送机器人并用的处理系统。图2A及图2B为根据本专利技术某些实施例的本专利技术的双臂基板移送机器人的截面图。图3为根据本专利技术某些实施例的本专利技术的双臂基板移送机器人的俯视图。图4A及图4B为根据本专利技术某些实施例的本专利技术的双臂基板移送机器人的截面图。为了便于理解，在可能时使用相同的组件符号来表示附图中共有的相同组件。所述附图并未按比例绘制，并且为了清楚而可被简化。应预期到一个实施例的元件与特征结构可有利地并入其它实施例而不需特别详述。【具体实施方式】本专利技术实施例大体涉及在整合基板制造系统中使用的基板移送机器人。本专利技术的基板移送机器人有利地提供共有的连接臂与分开的横向偏位旋转致动器，以单独地控制移送机器人的手臂，此举实现对移送机器人增强的控制，同时减小移送机器人的整体尺寸，因而使移送机器人可简易地安装及维护。图1为可适于与在此公开的本专利技术的设备并用的示例性多腔室处理系统100的俯视示意图。可根据在此提供的教示做适当改造的合适的多腔室处理系统的实例包括ENDURA?、CENTURA?、以及 PRODUCER?处理系统(例如 PRODUCER?GT?)、ADVANTEDGE?处理系统，或可从位于加州圣塔克拉拉的应用材料公司购得的其它适合的处理系统。预期其它处理系统(包括来自其它制造商者的那些处理系统)可经改造而受益于本专利技术。在某些实施例中，处理系统100通常可包括真空密封处理平台102、工厂接口 104以及系统控制器140。平台102可包括与移送室188连接的多个处理腔室190A-F以及与移送室188连接的至少一个负载锁定室(图示为两个)184。移送机器人106 (在下文参照图2与图3描述)设置在移送室188中央，以在负载锁定室184和处理腔室190A-F之间移送基板。处理腔室190A-F可经配置以执行多种功能，包括层沉积、蚀刻、预清洁、除气、定向与中心定位(center-finding)、退火以及其它基板处理,所述层沉积包括原子层沉积(ALD)、化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)。每一个处理腔室190A-F都可包括狭缝阀或其它可选择性密封的开口，以选择性地将处理腔室190A-F的各自的内部空间流体连接到移送室188的内部空间。类似地，每一个负载锁定室184都可包含端口，以选择性地将负载锁定室184的各自的内部空间流体连接至移送室188的内部空间。工厂接口 104经由负载锁定室184与移送室188连接。在某些实施例中，每一个负载锁定室184都可包括与工厂接口 102连接的第一端口 123以及与移送室188连接的第二端口 125。负载锁定室184可与压力控制系统连接，该压力控制系统将负载锁定室184抽真空及通气，以辅助在移送室188的真空环境和工厂接口 104的实质周围(例如，常压)环境之间移送基板。在某些实施例中，工厂接口 104包括至少一个对接站183以及至少一个工厂接口机器人(图示为一个)185，以辅助将基板从工厂接口 104通过负载锁定室184而移送至处理平台102以进行处理。对接站183经配置以容纳一个或更多个(图示为四个)前开口晶圆移送盒(FOUPs) 187A-D。选择性地，一个或更多个测量站(未图示)可与工厂接口104连接，以辅助测量来自F0UPsl87A-D的基板。在某些实施例中，设置在工厂接口 104中的工厂接口机器人185能够线性移动及旋转移动(箭头182)，以在负载锁定室184和多个FOUPs 187A-D之间往返移送基板晶匣。系统控制器140控制处理系统100的操作，此控制是通过直接控制处理平台102与工厂接口 104组件(B卩，处理腔室190A-F、移送机器人102等)中的一个或更多个，或者，藉由控制与该处理平台102及工厂接口 104组件相关的计算机(或控制器)来完成。在某些实施例中，系统控制器140容许数据收集与来自处理系统100组件的反馈，以最优化处理系统100的性能。在某些实施例中，系统控制器140通常包括中央处理单元(CPU) 142、存储器144以及支持电路146。CPU142可以是能够用于工业设定的任何型态的通用计算机处理器的一种。该存储器144，或计算机可读取介质，可由CPU142存取并且可以是能够轻本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊贾·克雷默曼，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：
国别省市：
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