【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种等离子体加工设备，包括承载装置和传输装置，所述承载装置包括卡盘，其用于在实施工艺时承载被加工工件，所述传输装置用于传输被加工工件，其包括机械手，所述被加工工件托放在所述机械手的上表面，其特征在于，所述机械手和所述卡盘在竖直方向上作相对运动，以将所述被加工工件放置在所述卡盘的上表面或将所述被加工工件自所述卡盘的上表面移开；并且，所述机械手包括本体，所述本体的两端设有延伸部，所述延伸部与所述本体形成一端开口的凹形空间，所述卡盘相对于所述机械手在竖直方向上作相对运动时能够穿过所述凹形空间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：管长乐，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。