【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶圆测试自动传输系统,由转动台(2)、传输机械手(3)、左升降机构(5)、右升降机构(1)、左承载台(4)、右承载台(8)、左晶圆片盒(6)、右晶圆片盒(7)、底座(9)组成,在底座(9)上组装由电机驱动的转动台(2),在转动台(2)上组装由电机驱动的传输机械手(3),在转动台(2)的两旁分别组装由电机驱动的左升降机构(5)和右升降机构(1),左承载台(4)与左升降机构(5)固联,右承载台(8)与右升降机构(1)固联,在左承载台(4)上安装左晶圆片盒(6),在右承载台(8)上安装右晶圆片盒(7),其特征是所述的传输机械手(3)的端部为O型结构(10),所述的左晶圆片盒(6)和所述的右晶圆片盒(7)以转动台(2)的回转中心对称布置。
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。