【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】 一种光致抗蚀膜剥离剂组合物，其特征在于：包括有机胺，二甘醇单烷基醚，非质子极性溶剂N，N?二甲基乙酰胺，缓蚀剂和水。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】 技术研发人员：杨桂望， 申请(专利权)人：杨桂望， 类型：发明 国别省市：
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