一种抗蚀剂剥离液制造技术

本发明专利技术公开了一种抗蚀剂剥离液，涉及光学元件，用来快速有效地去除彩色滤光片上的彩色抗蚀剂以及保护层。所述彩色滤光片用彩色抗蚀剂剥离液，包括质量分数为10-45％的烷氧基碱金属盐，质量分数为10-30％的有机胺，质量分数为5-30％的表面活性剂，质量分数为20-60％的溶剂，质量分数为1-55％的醇。本发明专利技术用于去除彩色滤光片中不良品的彩色抗蚀剂及保护层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学元件，尤其涉及一种抗蚀剂剥离液。
技术介绍
彩色滤光片包括玻璃基板上的黑矩阵层、彩色滤光层(R、G、B)等构成。其中彩色滤光片的制造工序中形成各膜层的工艺如下。首先在玻璃基板上涂布一层对应膜层的光刻胶，然后进行预烘烤，预烘烤好后进行曝光、显影，最后进行后烘烤，因此在彩色滤光片生产工序中如果发现有不良品，绝大多数已经经过了至少一次的后烘烤。后烘烤后的彩色抗蚀剂已经交联固化，显影液已经不能将其从基板上剥离；还可能在彩色抗蚀剂层上形成一层保护层，也无法去除剥离。其中，黑矩阵材料通常为含有铬或氧化铬的材料，或有机材料；彩色抗蚀剂材料通常为包括有机颜料、光固化组分、光起始剂、碱溶性树脂、溶剂、其他助剂的组合物；保护层材料通常为包括光固化组分、光起始剂、碱溶性树脂、溶剂、其他助剂的组合物。由于玻璃基板成本很高，如果直接废弃会造成很大浪费，因此可以将不良彩色滤光片基板上的膜层全部剥离掉，重新使用，可以节约成本。但是如果膜层剥离的不干净，或者彻底剥离需要的时间很长，就无法起到节约成本的作用。因此提供一种剥离液，能够快速有效地去除彩色抗蚀剂以及保护层成为本领域人员需要解决的技术问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抗蚀剂剥离液，其特征在于，包括质量分数为10?45％的烷氧基碱金属盐，质量分数为10?30％的有机胺，质量分数为5?30％的表面活性剂，质量分数为20?60％的溶剂，质量分数为1?55％的醇。

【技术特征摘要】
1.一种抗蚀剂剥离液，其特征在于，包括质量分数为10-45 %的烷氧基碱金属盐，质量分数为10-30 %的有机胺，质量分数为5-30 %的表面活性剂，质量分数为20-60 %的溶剂，质量分数为1-55 %的醇。2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，所述烷氧基碱金属盐包括烷氧基钠、烷氧基锂、烷氧基钾中的一种或多种。3.根据权利要求2所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，所述烷氧基碱金属盐为甲醇钠、乙醇钠、正丙醇钠、异丙醇钠、叔丁醇钠、甲醇钾、乙醇钾、正丙醇钾、异丙醇钾、叔丁醇钾、甲醇锂、乙醇锂、正丙醇锂、异丙醇锂、叔丁醇锂中的一种或多种。...

【专利技术属性】
技术研发人员：舒适，刘陆，王灿，齐永莲，惠官宝，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：