【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种抗蚀剂剥离液组合物，包括：(a)选自由以下化学式1表示的有机磷酸和硅烷醇化合物组成的组中的至少一种；(b)碱性化合物：以及(c)水溶性极性溶剂：[化学式1]其中，R1是具有3～15个碳的烷基、烯基或羟烷基。FDA00003232423200011.jpg
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：金正铉，高京俊，金圣植，慎蕙蠃，李喻珍，
申请(专利权)人：东友FINECHEM股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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