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本发明涉及一种抗蚀剂剥离液组合物，包括(a)选自由以下化学式1表示的有机磷酸和硅烷醇化合物组成的组中的至少一种；(b)碱性化合物；以及(c)水溶性极性溶剂。[化学式1]...
该专利属于东友FINE-CHEM股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东友FINE-CHEM股份有限公司授权不得商用。

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