含酚羟基树脂、制法、感光性或固化性组合物、抗蚀材料、涂膜、固化物、及抗蚀剂下层膜制造技术

本发明专利技术提供碱显影性优异、得到的固化物能够表现出高耐热性的含酚羟基树脂、其制造方法、感光性组合物、抗蚀材料、涂膜、固化性组合物和其固化物、及抗蚀剂下层膜。一种含酚羟基树脂，其特征在于，包含具有下述结构式(1)(式中，R

Phenolic hydroxyl resin, process for producing, photosensitive or curable composition, resist material, coating film, cured material, and resist lower layer film

The present invention provides excellent alkali developable and cured article obtained can exhibit high heat resistance of phenolic hydroxyl resin and a manufacturing method thereof, photosensitive composition, corrosion resistant material, coating, curable composition and cured product thereof, and resist underlayer film. A phenolic hydroxy resin, characterized in that it contains the following structural formula (1) (in formula, R)

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】含酚羟基树脂、制法、感光性或固化性组合物、抗蚀材料、涂膜、固化物、及抗蚀剂下层膜
本专利技术涉及碱显影性优异、得到的固化物能够表现出高耐热性的含酚羟基树脂、其制造方法、感光性组合物、抗蚀(resist)材料、涂膜、固化性组合物和其固化物、及抗蚀剂下层膜。
技术介绍
含酚羟基树脂除了用于粘接剂、成形材料、涂料、光致抗蚀剂(photoresist)材料、环氧树脂原料、环氧树脂用固化剂等以外，由于得到的固化物的耐热性、耐湿性等优异，因此作为以含酚羟基树脂自身为主剂的固化性树脂组合物、或者作为环氧树脂等的固化剂在半导体密封材料、印刷电路板用绝缘材料等电气·电子领域中广泛使用。其中，在半导体抗蚀材料的领域中，从得到的固化物表现高的耐热性的方面考虑，优选利用甲酚酚醛清漆树脂(参照专利文献1)。但是，专利文献1中记载的使甲酚和福尔马林在酸性催化剂的存在下反应而得到的以往的酚醛清漆树脂虽然耐热性优异，但碱显影性不充分。此外，具有被称作杯芳烃结构的筒状结构的化合物因玻璃化转变温度、熔点高、热稳定性优异而被期待应用于各种电气·电子材料。例如，已知有将1-萘酚和甲醛以两者的摩尔比[1-萘酚/甲醛]为1.0以下的比例，在氢氧化钠等碱性催化剂条件下反应而得到的1-萘酚型杯[4]芳烃化合物(参照专利文献2)。但是，专利文献2中记载的1-萘酚型杯(4)芳烃化合物对常用有机溶剂的溶解性不充分，难以应用于粘接剂、涂料、光致抗蚀剂、印刷电路基板用途。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-195497号公报专利文献2：日本特开2012-162474号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题因此，本专利技术要解决的问题在于，提供碱显影性优异、得到的固化物能够表现出高耐热性的含酚羟基树脂、其制造方法、感光性组合物、抗蚀材料、涂膜、固化性组合物和其固化物、及抗蚀剂下层膜。用于解决问题的方案本专利技术人为了解决上述问题而反复进行了深入研究，结果发现，由含烷基或芳基的苯酚和三聚乙醛形成的杯芳烃化合物作为抗蚀材料使用时，碱显影性优异、得到的固化物能够表现出高耐热性，从而完成了本专利技术。即，本专利技术涉及一种含酚羟基树脂，其特征在于，包含具有下述结构式(1)所示分子结构的化合物(A)，(式中，R1为烷基、烷氧基或芳基，R2为氢原子、烷基或芳基，m为1～3的整数，n为2～15的整数。m为2以上时，多个R1各自可以相同或不同。)。本专利技术还涉及一种含酚羟基树脂的制造方法，其特征在于，使下述结构式(2)所示的取代苯酚和三聚乙醛在有机溶剂中、在酸催化剂的存在下反应，(式中，R1为烷基、烷氧基或芳基，m为1～3的整数。)。本专利技术还涉及一种感光性组合物，其含有前述含酚羟基树脂和光敏剂。本专利技术还涉及一种抗蚀剂用组合物，其包含前述感光性组合物。本专利技术还涉及一种涂膜，其包含前述感光性组合物。本专利技术还涉及一种固化性组合物，其含有前述含酚羟基树脂和固化剂。本专利技术还涉及一种固化物，其是使前述固化性组合物固化而成的。本专利技术还涉及一种抗蚀剂下层膜，其是使前述固化性组合物固化而成的。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供碱显影性优异、得到的固化物能够表现出高耐热性的含酚羟基树脂、其制造方法、感光性组合物、抗蚀材料、及涂膜。附图说明图1为实施例1中得到的含酚羟基树脂(1)的GPC图。图2为实施例1中得到的含酚羟基树脂(1)的MS谱图。图3为实施例2中得到的含酚羟基树脂(2)的GPC图。具体实施方式本专利技术的含酚羟基树脂的特征在于，包含具有下述结构式(1)所示分子结构的化合物(A)，(式中，R1为烷基、烷氧基或芳基，R2为氢原子、烷基或芳基，m为1～3的整数，n为2～15的整数。m为2以上时，多个R1各自可以相同或不同。)。以往作为抗蚀材料广泛使用的甲酚酚醛清漆树脂虽然得到的固化物表现出高耐热性，但是碱显影性不充分。因此，作为提高碱显影性的方法，可以举出将甲酚酚醛清漆树脂的分子量调整为较低的方法，但是，在上述方法中，随着低分子量化，得到的固化物的耐热性会降低，因此难以得到碱显影性优异、在得到的固化物中表现出高耐热性的树脂。对此，通过使具有前述结构式(1)所示分子结构的化合物(A)具有杯芳烃型的筒状结构，从而与以往的甲酚酚醛清漆树脂相比较为低分子量，并且得到的固化物能够表现出高耐热性。因此，含有其的本专利技术的含酚羟基树脂的碱显影性优异、得到的固化物能够表现出高耐热性。另外，以往已知的萘酚型的杯芳烃型化合物虽然玻璃化转变温度、熔点高、热稳定性优异，但是与常用有机溶剂、其他树脂成分、添加剂等的相容性不充分。对此，通过使前述化合物(A)具备源自具有烷基、烷氧基或芳基的苯酚的结构部位代替萘酚结构，能够维持作为杯芳烃型化合物的特征的高耐热性并表现出高的溶剂溶解性。前述结构式(1)中的R1为烷基、烷氧基或芳基，作为烷基，可以举出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、环己基等，作为烷氧基，可以举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基等，作为芳基，可以举出苯基、羟基苯基、二羟基苯基、羟基烷氧基苯基、烷氧基苯基、甲苯基、二甲苯基、萘基、羟基萘基、二羟基萘基等。前述结构式(1)中的m为2以上时，多个R1各自可以相同或不同。其中，从可得到碱显影性优异的含酚羟基树脂的方面出发，优选烷基，更优选甲基、乙基、丙基、丁基等碳原子数为1～4的烷基，特别优选甲基。前述结构式(1)中的m的值为1～3的整数。其中，从形成碱显影性优异、固化物表现出高耐热性的含酚羟基树脂的方面出发，m优选为1。前述结构式(1)中的m的值为1时，从反应性优异的方面出发，前述结构式(1)中的酚羟基键合的芳香族碳原子与取代基R1键合的芳香族碳原子的位置优选为间位。因此，前述结构式(1)所示的本专利技术的含酚羟基树脂优选包含具有下述结构式(1-1)所示分子结构的化合物(A-1)，(式中，R1为烷基或芳基，R2为氢原子、烷基或芳基，n为2～15的整数。)。前述结构式(1)中的R2为氢原子、烷基或芳基，作为烷基，可以举出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、环己基等，作为芳基，可以举出苯基、羟基苯基、二羟基苯基、羟基烷氧基苯基、烷氧基苯基、甲苯基、二甲苯基、萘基、羟基萘基、二羟基萘基等。其中，从形成碱显影性优异、得到的固化物表现出高耐热性的含酚羟基树脂的方面出发，优选为烷基、更优选为甲基。对于本专利技术的含酚羟基树脂，具体而言，可以通过如下方法来制造：使下述结构式(2)所示的取代苯酚和三聚乙醛在有机溶剂中、在酸催化剂的存在下反应的方法，(式中，R1为烷基、烷氧基或芳基，m为1～3的整数。)。即，本专利技术的制造方法的特征在于，使用上述结构式(2)所示的取代苯酚作为取代苯酚，使用作为乙醛的环状三聚体的三聚乙醛作为醛化合物，在有机溶剂中、在酸催化剂的存在下反应，由此，能够有效地制造杯芳烃型的前述含酚羟基树脂。本专利技术的制造方法中使用的取代苯酚为下述结构式(2)所示的化合物，式中的R1为烷基、烷氧基或芳基。(式中，R1为烷基、烷氧基或芳基，m为1～3的整数。)作为它们的具体例，可以举出甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、环己基等烷基；甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基等烷氧基；苯基、羟基苯基、二羟基苯基、羟基烷氧基苯基、烷氧基苯基、甲苯基、二甲苯基、萘基、羟基萘基、二羟基萘基等芳基。作为这样的取代苯酚的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种含酚羟基树脂，其特征在于，包含具有下述结构式(1)所示分子结构的化合物(A)，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.07.09 JP 2014-1414171.一种含酚羟基树脂，其特征在于，包含具有下述结构式(1)所示分子结构的化合物(A)，式(1)中，R1为烷基、烷氧基或芳基，R2为氢原子、烷基或芳基，m为1～3的整数，n为2～15的整数，m为2以上时，多个R1各自可以相同或不同。2.根据权利要求1所述的含酚羟基树脂，其中，所述n为4～6的整数。3.根据权利要求1所述的含酚羟基树脂，其特征在于，包含具有下述结构式(1-1)所示分子结构的化合物(A-1)，式(1-1)中，R1为烷基、烷氧基或芳基，R2为氢原子、烷基或芳基，n为2～10的整数。4.根据权利要求1所述的含酚羟基树脂，其是使下述结构式(2)所示的取代苯酚和三聚乙醛...

【专利技术属性】
技术研发人员：今田知之，木本诚二，木田成信，
申请(专利权)人：DIC株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP