【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种应用于太阳能电池片的离子束注入掺杂的设备，包括离子源，引出电极单元?，均匀度和角度校正单元，所述引出电极单元以及均匀度和角度校正单元设置在真空室中，所述离子源生成的离子束通过所述引出电极单元引出，其特征在于：所述应用于太阳能电池片的离子束注入掺杂的设备还包括靶室单元、靶台扫描运动单元离子束测量控制单元；所述靶室单元内设靶台单元，所述靶台单元包括目标工件、注入隙缝图形掩模和目标工件夹具；所述靶台扫描运动单元携带所述靶台单元运动；所述离子束测量控制单元测量离子束的离子束电流、离子束电流密度分布和离子束的角度；所述目标工件夹具固定所述目标工件和注入隙缝图形掩模。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：施惠栋，
申请(专利权)人：宁波瑞曼特新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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