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本发明涉及太阳能电池的生产领域，其公开了一种应用于太阳能电池片的离子束注入掺杂的设备和方法，包括靶室单元、靶台扫描运动单元离子束测量控制单元；所述靶室单元内设靶台单元，所述靶台单元包括目标工件、注入隙缝图形掩模和目标工件夹具；所述靶台扫描运...
该专利属于宁波瑞曼特新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波瑞曼特新材料有限公司授权不得商用。

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