一种快速、简便识别多晶硅片质量的方法技术

技术编号:9355743 阅读:229 留言:0更新日期:2013-11-20 23:03
本发明专利技术公开了一种快速、简便识别多晶硅片质量的方法。用HNO3和HF配置腐蚀溶液,将所要检测的多晶硅片,浸没到腐蚀溶液中进行腐蚀。腐蚀过程中,硅片加以摆动,使硅片表面腐蚀更加均匀。腐蚀完成后,将硅片放入纯水中清洗,清洗掉硅片表面残留的酸液。将硅片吹干后,根据硅片表面黑色区域面积大小,即硅片上高密度位错群面积比例,从而判定出硅片质量。该方法设计合理,能够快速、简便识别出多晶硅片的质量。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种快速、简便识别多晶硅片质量的方法,其特征是:将多晶硅片经过腐蚀液处理后,根据硅片表面情况,判别出硅片的质量。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘晓兵赵福祥朱琛张芳芳李秉喆洪定义
申请(专利权)人:韩华新能源启东有限公司
类型:发明
国别省市:

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