CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法技术

本发明专利技术CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法，所述方法的步骤如下：步骤S1：利用光学元件抛光前后的功率谱密度函数PSDbef、PSDaft，构建出平滑谱函数H与PSDaft、PSDbef的公式(1)PSDaft＝(1-H)(1-H)*·PSDbef，其中(1-H)*为(1-H)的共轭，*为求共轭的运算符；步骤S2：根据复数运算法则，对公式(1)两边取模得到抛光后面形数据的功率谱密度函数表达式(2)PSDaft＝|(1-H)|2·PSDbef；步骤S3：由于平滑谱函数H为去除函数归一化后的傅里叶变换，所以根据|H|＜1，求解公式(2)，构建出平滑谱函数H的公式(3)公式(3)将CCOS抛光工艺抑制不同频段误差的能力表示为频率的归一化函数，利用抛光前后得到的PSDbef、PSDaft计算平滑谱函数曲线，根据平滑谱函数曲线值的大小来评价CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的大小。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
CCOS抛光工艺抑制不同频段误差能力的评价方法，其特征在于所述评价方法的步骤如下：步骤S1：利用光学元件抛光前、抛光后的面形数据的功率谱密度函数PSDbef和PSDaft，构建出平滑谱函数与PSDaft、PSDbef的数学关系公式：PSDaft＝(1?H)(1?H)*·PSDbef????(1)公式(1)中H为平滑谱函数即去除函数归一化后的傅里叶变换，(1?H)*为(1?H)的共轭，*为求共轭的运算符；步骤S2：根据复数运算法则，对公式(1)两边取模得到抛光后面形数据的功率谱密度函数的表达公式：PSDaft＝|(1?H)|2·PSDbef????(2)步骤S3：由于平滑谱函数H是去除函数归一化...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王佳，范斌，万勇建，施春燕，卓彬，孟凯，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：