纳米平板印刷方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术主要地涉及纳米平板印刷装置和方法。这样的方法包括：提供(S10)：模具(100)，在模具的一侧(101)上包括形貌图案(140)，形貌图案由具有纳米级尺度的结构(130)形成；以及在衬底(220)上的与模具的所述一侧相对的可热分解聚合物膜(210)，诸如聚邻苯，其中该结构被加热至聚合物膜的分解温度(Td)以上；使所述结构与聚合物膜接触(S20)以热分解其与所述结构对应的部分；并且从聚合物膜去除(S50)结构。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种纳米平板印刷方法，包括：?提供(S10)：?模具(100)，在所述模具的一侧(101)上包括具有纳米级尺度的结构(130)，所述结构形成形貌图案(140)；以及?衬底(220)上的、与所述模具的所述一侧相对的可热分解聚合物膜(210)，?其中所述结构被加热至所述聚合物膜的分解温度(Td)以上；?使所述结构与所述聚合物膜接触(S20)以热分解(S30)其与所述结构对应的部分；并且?从所述聚合物膜去除(S50)所述结构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：F·霍尔泽，A·W·诺尔，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：