下载纳米平板印刷方法和装置的技术资料

文档序号:9295207

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本发明主要地涉及纳米平板印刷装置和方法。这样的方法包括:提供(S10):模具(100),在模具的一侧(101)上包括形貌图案(140),形貌图案由具有纳米级尺度的结构(130)形成;以及在衬底(220)上的与模具的所述一侧相对的可热分解聚合...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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