可自成像成膜聚合物、其组合物以及由其制得的器件和结构制造技术

技术编号:9280905 阅读:174 留言:0更新日期:2013-10-25 00:51
聚合物和包含此种聚合物的形成可自成像膜的组合物,此种聚合物包含具有至少一个酚类官能团的降冰片烯型重复单元和马来酸酐型重复单元,其可以配制为正色调成像或负色调成像。据此形成的膜可用作微电子器件,例如半导体,和光电子器件制造中的可自成像层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:大治阳雄池田L·F·罗德斯P·坎达纳拉彻驰
申请(专利权)人:普罗米鲁斯有限责任公司住友电木株式会社
类型:
国别省市:

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