【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板处理装置，在水平方向上搬运具有挠性的矩形的基板，并且向上述基板的两个表面供给处理液，由此同时对上述基板的两个表面进行处理，其特征在于，具有：一对环状带，分别支撑上述基板的与搬运方向平行的一对端缘；固定单元，用于将上述基板的与搬运方向平行的一对端缘分别固定于上述一对环状带上。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：富藤幸雄，南茂树，上代和男，芳川典生，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：
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