【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种CMOS,包括:第一MOSFET;第二MOSFET,与第一MOSFET类型不同;第一应力衬层,覆盖了第一MOSFET,具有第一应力;第二应力衬层,覆盖了第二MOSFET,具有与第一应力类型不同的第二应力;其中,第二应力衬层与第一应力衬层材质不同。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:殷华湘,马小龙,徐秋霞,陈大鹏,
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所,
类型:发明
国别省市:
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