【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板处理装置，其是处理基板的装置，包括：外壳，其具有搬入基板的开口；喷嘴，其由所述外壳内提供，向基板供给处理液；及门装配件，其用以调节所述开口的开放宽度，所述门装配件具有：沿着所述开口的横方向并排提供的多个门，及所述门之中至少一个向上下方向移动的驱动器。
【技术特征摘要】
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。