基板处理装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板处理装置和基板处理方法，能够缩短整个工序时间。本发明专利技术一实施方式的基板处理装置包括：基板支持单元，支持基板；喷墨嘴，向上述基板吐出第1处理液；涂敷嘴，向上述基板吐出与第1处理液不同的第2处理液；以及台架单元，使上述喷墨嘴和上述涂敷嘴沿第1方向直线移动，使得上述喷墨嘴和上述涂敷嘴的位置相对于上述基板支持单元变更。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基板处理装置，更详细地说，涉及执行液晶显示屏的工序处理的装置。
技术介绍
液晶显示屏的制造工序包括涂布工序，向玻璃基板表面上供给及涂布处理液；和涂敷(Coating)工序，在涂布了处理液的基板上形成涂层。作为执行涂布工序的装置，使用以喷墨印刷方式在基板表面上直接印刷处理液的装置。涂布工序和涂敷工序在工序中使用的装置互不相同，在每个独立的腔室中执行工序。因此，在涂布装置和涂敷装置之间要求有用于传送基板的传送装置。这种装置有下述问题不仅增加了整个设备面积，而且传送基板增加了整个工序时间。现有技术文献·专利文献专利文献I :韩国专利公开第10-2010-0060690号公报
技术实现思路
本专利技术的实施方式提供一种能够缩短整个工序时间的装置及方法。此外，本专利技术的实施方式提供一种能够减少设备整个面积的装置。此外，本专利技术的实施方式提供一种能够用I个装置涂布多种处理液的装置及方法。本专利技术一实施方式的基板处理装置包括基板支持单元，支持基板；喷墨嘴(喷墨喷嘴)，向上述基板吐出第I处理液；涂敷嘴(涂敷喷嘴)，向上述基板吐出与第I处理液不同的第2处理液；以及台架单元，使上述喷墨本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，包括：基板支持单元，支持基板；喷墨嘴，向上述基板吐出第1处理液；涂敷嘴，向上述基板吐出与第1处理液不同的第2处理液；以及台架单元，使上述喷墨嘴和上述涂敷嘴沿第1方向直线移动，使得上述喷墨嘴和上述涂敷嘴的位置相对于上述基板支持单元变更。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金哲佑，李晟熙，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：