【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种平板显示领域，尤其涉及到一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备。
技术介绍
如图I所示加热器为现有技术中的结构示意图，图中由箱体I、基片架2、加热器3、导杆4、传动轮5构成。目前的镀膜设备采用双面镀膜的方式，设备有正反两面区分，设备两边同时装有 靶材，且装载玻璃的基片架也分正反两面，加热器装在真空室中心位置，上下为一个整体式，采用吊装方式悬空挂起，在镀膜过程中，在基片架的正反面分别装载玻璃，镀膜时装有玻璃的基片架在真空室内行走，基片架的正反面分别位于中间加热器的两侧，经过靶区通过磁控溅射的方式进行镀膜，这种方式一次只能镀玻璃的一面，如果玻璃的另外一面也需要镀膜，则必须镀完玻璃一面后，将镀完一面的玻璃重新经过清洗，然后再次经过真空室进行镀膜，即镀膜工序要重复两次才能完成，这样不但浪费人力、财力、产量低而且玻璃经过多次周转后其良率也会大大下降，而且由于加热器是整体式，如果基板受热不均匀时，无法进行局部温度调整。因此现有技术相比较本专利技术而言存在以下不足之处①加热器位于腔体中间位置，在基片架行走过程中，基片架两侧的玻璃分别位于加热器的两侧，...
【技术保护点】
一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备，其特征在于：该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备由箱体(1)、基片架(2)、加热器(3)、导杆(4)、传动轮(5)、上横梁(6)、下横梁(7)构成，所述加热器(3)位于箱体(1)两侧真空室壁上，没有靶位的地方均设有加热器(3)，加热器(3)的数量是常规设计的1.5倍，且加热器(3)采用分段式，这样可以提高加热效率，而且可以分段控制温度，能够更好的保证玻璃受热均匀。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：姜翠宁，
申请(专利权)人：深圳市正星光电技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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