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基板处理装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:8266757
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本发明提供一种基板处理装置和基板处理方法,能够缩短整个工序时间。本发明一实施方式的基板处理装置包括:基板支持单元,支持基板;喷墨嘴,向上述基板吐出第1处理液;涂敷嘴,向上述基板吐出与第1处理液不同的第2处理液;以及台架单元,使上述喷墨嘴和上...
该专利属于细美事有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过细美事有限公司授权不得商用。
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