【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种圆柱磁控溅射靶，其包括靶头及与靶头连接于一体的靶体，其特征在于：该靶体包括一靶材、一套设在靶材外的防护装置及一绝缘装置，该防护装置包括一内挡板，该绝缘装置包括至少一绝缘件，所述绝缘件固设在内挡板的内侧壁上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄登聪，徐华勇，刘振章，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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