电镀装置制造方法及图纸

技术编号:9260090 阅读:126 留言:0更新日期:2013-10-17 00:02
本实用新型专利技术公开一种电镀装置,其适于对一基板进行电镀。电镀装置包括一电镀槽、一阴极、两阳极以及两遮蔽件。阴极配置于电镀槽内,而基板连接阴极。两阳极配置于电镀槽内。基板位于两阳极之间,且具有分别面向两阳极的相对两待镀面。两遮蔽件配置于电镀槽内并且位于两阳极之间。两遮蔽件分别邻近基板的相对两侧边,并且相对于两阳极,分别遮蔽但不接触基板的两待镀面的外围区域。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电镀装置,适于对一基板进行电镀,其特征在于,该电镀装置包括:电镀槽;阴极,配置于该电镀槽内,而该基板连接该阴极;两阳极,配置于该电镀槽内,该基板位于该两阳极之间,并且具有分别面向该两阳极的相对两待镀面;以及两遮蔽件,配置于该电镀槽内并且位于该两阳极之间,该两遮蔽件分别邻近该基板的相对两侧边,并且相对于该两阳极,分别遮蔽但不接触该基板的该两待镀面的外围区域。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:余丞博黄瀚霈余弘斌黄尚峰
申请(专利权)人:欣兴电子股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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