【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
电镀装置，包括电镀槽和储液槽，其特征在于，电镀槽和储液槽通过进液管联通，所述进液管上安装有过滤器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王振荣，黄春杰，
申请(专利权)人：上海新阳半导体材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31
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