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本实用新型公开了一种电镀装置，包括电镀槽和储液槽，其特征在于，电镀槽和储液槽通过进液管联通，所述进液管上安装有过滤器。本实用新型中的电镀装置，在储液槽与电镀槽之间安装过滤装置，可在电镀液进入电镀槽之前过滤除去杂质。可有效地避免电镀液中的杂质...
该专利属于上海新阳半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新阳半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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