基板和分割机构、生长薄膜及生长方法、分离方法、加热方法、外延晶片、发光二极管技术

提供一种作为基板的组合基板、防弯曲用基板及分割机构，所述基板为了省略将生长薄膜分割为所需的大小的分割来大大简化生产工序并减少生产成本，其目的在于能够在生长薄膜生长的过程中获得以指定的大小自然分割的生长薄膜（多个）、在薄膜生长过程中自然地在生长薄膜的部分厚度范围形成凹陷部、防止基板的弯曲现象，供给低缺陷高品质的生长薄膜、更均匀地加热基板、利用小块状单元片型基板来提高生产率和品质，而不是提供结束上述生长薄膜的生长后分割生长薄膜的方法；并提供利用上述基板来使生长薄膜生长的方法、分离方法、由上述方法（多个）获得的生长薄膜和为了化学蒸镀工序而使用的基板加热方法、发光二极管、垂直型发光二极管和外延晶片。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：李亨坤，
申请(专利权)人：李亨坤，
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