【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种三自由度纳米定位微动硅片台,其特征在于,包括:底板(106),支撑机构,驱动电机,柔性导向板(200),方镜(102),吸盘(101)和干涉仪;所述底板(106)布置在硅片台底部,为硅片台的基础框架;所述支撑机构布置在所述底板(106)和所述柔性导向板(200)之间,支撑起该硅片台的整个运动部件;所述柔性导向板(200)提供硅片台的三维导向功能,布置在所述支撑机构和所述方镜(102)之间;所述方镜(102)布置在硅片台上层,与所述柔性导向板(200)可动部分固连,同时在所述方镜(102)侧面提供所述干涉仪测量面,反馈系统位移;所述吸盘(101)布置在所述方镜(102)上,同时直接承载硅片,最终实现所述硅片的三自由度微位移调节和纳米级定位。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周清华,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:发明
国别省市:
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